[发明专利]电解夹具以及制备金属薄片EBSD样品的方法

权利要求书

1.制备金属薄片EBSD样品的方法，其特征在于，包括如下步骤：

裁切，将金属薄片切割为若干个大小相等的样品片；

磨样，采用砂纸对夹具中样品片的侧边进行打磨；

电解抛光，将若干样品片竖直堆叠置于电解夹具中夹持，所述电解夹具包括两个一端部固定连接的夹合臂和设于夹合臂另一端的夹合板，两个所述夹合板之间竖直叠设有若干样品片，所述电解夹具两侧的夹合板贴合于所述样品片正面或背面，将所述电解夹具和所述样品片置于电解液中，电解夹具与阳极相连接并进行抛光；在所述电解抛光的步骤中，所述夹合板面积大于或等于所述样品片的面积，且所述夹合板覆盖于所述样品片上；在所述电解抛光的步骤中，所述样品片底部的侧边平齐；若干所述样品片堆叠后的厚度与所述夹合板的厚度之和小于5mm，所述夹合板的高度小于10mm；其中，样品片裁切后的尺寸为长度小于10mm，宽度小于5mm，厚度为0.02至0.15mm，且夹合板的长度大于或等于样品片的长度，不超过250片样品片叠合于同一电解夹具内。

2.如权利要求1所述的制备金属薄片EBSD样品的方法，其特征在于：在所述电解抛光的步骤中，电解抛光时间3至10s，电流为0.3至0.8A，电压为20至25V。

3.如权利要求1或2所述的制备金属薄片EBSD样品的方法，其特征在于：所述磨样步骤中，将若干样品片堆叠置于打磨夹具中，并对所述样品片的侧边依次粗磨、细磨和精磨，并保证划痕方向一致。

4. 如权利要求1或2所述的制备金属薄片EBSD样品的方法，其特征在于：在所述电解抛光步骤前，对所述样品片依次粗抛和细抛，所述粗抛采用颗粒度为1至2.5μm 的抛光剂，抛光时间为5至10min；所述细抛采用颗粒度为0.05μm 的抛光剂，抛光时间为10至20min。

5.如权利要求1或2所述的制备金属薄片EBSD样品的方法，其特征在于：在所述电解抛光步骤后，采用酒精对所述样品片进行清洗。