[发明专利]一种高压放电等离子体源的自动清洁方法及装置

权利要求书

1.一种高压放电等离子体源的自动清洁方法，其特征在于，所述方法应用于高压放电等离子体源的自动清洁装置，所述方法包括：

获取所述等离子体源电极上的各项参数；其中，所述参数包括高压电压、等离子体电流和废气湿度；

分别判断所述高压电压、所述等离子体电流以及所述废气湿度与对应阈值的关系，得到判断结果；所述判断结果用于表征所述等离子体是否需要清洁；

根据所述判断结果对所述等离子体进行感应加热。

2.根据权利要求1所述的高压放电等离子体源的自动清洁方法，其特征在于，所述分别判断所述高压电压、所述等离子体电流以及所述废气湿度与对应阈值的关系，得到判断结果，包括：

若所述高压电压处于第一阈值，且所述等离子体电流小于第二阈值时，对所述等离子体进行一次加热；其中，所述第一阈值与所述第二阈值不同。

3.根据权利要求2所述的高压放电等离子体源的自动清洁方法，其特征在于，所述方法还包括：

若所述废气湿度大于或等于第三阈值，对所述等离子体进行一次加热。

4.根据权利要求1所述的高压放电等离子体源的自动清洁方法，其特征在于，所述根据所述判断结果对所述等离子体进行感应加热，包括：

若所述判断结果表征所述等离子体需要清洁，采用感应加热方式加热所述等离子体至目标温度。

5.一种高压放电等离子体源的自动清洁装置，其特征在于，所述装置包括：等离子产生体、高压电流表、高压等离子体电源、控制器、感应加热电源和废气湿度传感器；

其中，所述控制器根据所述废气湿度传感器、所述高压电流表和所述高压等离子体电源，控制所述感应加热电源对所述等离子产生体进行加热。

6.一种高压放电等离子体源的自动清洁装置，其特征在于，所述装置包括：获取模块，判断模块和处理模块，

所述获取模块，用于获取所述等离子体源电极上的各项参数；其中，所述参数包括高压电压、等离子体电流和废气湿度；

所述判断模块，用于分别判断所述高压电压、所述等离子体电流以及所述废气湿度与对应阈值的关系，得到判断结果；所述判断结果用于表征所述等离子体是否需要清洁；

所述处理模块，用于根据所述判断结果对所述等离子体进行感应加热。

7.一种高压放电等离子体源的自动清洁的控制设备，其特征在于，所述设备包括：处理器和存储器，所述存储器用于存储指令，所述处理器用于执行所述存储器中存储的指令，以使所述设备执行所述如权利要求1-4中任一项所述的高压放电等离子体源的自动清洁方法。