[发明专利]一种自锁式硅片脱胶工装

权利要求书

1.一种自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，它包括下压传动杆、工装支架、安装面板和物料承载底杆，所述工装支架两侧设置有安装面板，所述物料承载底杆设置在所述工装支架的底部，所述下压传动杆设置在所述工装支架的顶部，所述下压传动杆的底部通过一自锁装置分别连接有杠杆，所述杠杆的一端连接在所述自锁装置的底部，所述杠杆的另一端通过杠杆支点与档杆轴心相连接，在所述安装面板上分别设置有档杆活动孔，所述档杆活动孔的位置与所述档杆轴心的活动位置相配合。

2.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，所述下压传动杆通过下压传动杆高度调节装置与所述自锁装置相连接。

3.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，所述自锁装置上设置有自锁手动解除按钮。

4.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，所述档杆轴心的外侧设置有EPE珍珠棉轴套。

5.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，在所述安装面板上物料承载底杆的位置处设置有底杆调节孔。

6.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，在所述工装支架的两侧顶部分别设置有工装挂钩。