[发明专利]一种中心型声表面波加热元件

权利要求书

1.一种中心型声表面波加热元件，其特征在于，其主要包括：压电基底(11)、叉指电极结构和套筒底座(3)；

所述压电基底(11)的前端为尖端状，其后端的壁上有一个或多个叉指电极结构；

所述套筒底座(3)套在所述压电基底(11)的后端，且所述叉指电极结构位于所述套筒底座(3)内；所述套筒底座(3)的底端设置有两个电极，并分别与所述叉指电极结构的汇流条电连接。

2.根据权利要求1所述的中心型声表面波加热元件，其特征在于，所述压电基底(11)为剑状，所述叉指电极结构有两个，分别为第一叉指电极结构(12a)和第二叉指电极结构(13a)，两叉指电极结构位于剑尾端的上下两个面上。

3.根据权利要求1所述的中心型声表面波加热元件，其特征在于，所述压电基底(11)为前端为圆锥状的棒，所述叉指电极结构有两个，分别为第三叉指电极结构(12b)和第四叉指电极结构(13b)，两叉指电极结构位于所述压电基底(11)的棒尾端外围。

4.根据权利要求1所述的中心型声表面波加热元件，其特征在于，所述压电基底(11)和叉指电极结构的表面有保护膜层(14)。

5.根据权利要求2所述的中心型声表面波加热元件，其特征在于，所述压电基底(11)的剑尾端的厚度为0.3-1mm，宽度为2-5mm。

6.根据权利要求3所述的中心型声表面波加热元件，其特征在于，所述压电基底(11)的棒尾端的周长为4-10mm。

7.根据权利要求1所述的中心型声表面波加热元件，其特征在于，所述压电基底(11)的材料包括压电单晶、压电陶瓷或以非压电材料作为支撑衬底的压电薄膜。

8.根据权利要求1所述的中心型声表面波加热元件，其特征在于，所述叉指电极结构为沉积在所述压电基底(11)表面上的具有手指交叉形状的铝、金、银、铂或铜的金属薄膜。

9.根据权利要求1所述的中心型声表面波加热元件，其特征在于，所述套筒底座(3)的底端设置的两个电极为两个电极焊盘，即第一电极焊盘(31)和第二电极焊盘(32)，两个电极焊盘与叉指电极结构的汇流条之间电连接。