[发明专利]一种高精度超薄光学零件增厚-光胶-对称减薄加工方法

权利要求书

1.一种高精度超薄光学零件的增厚-光胶-对称减薄加工方法，其特征在于：包括如下步骤：

第一步，切片：选取圆柱形毛坯材料，将圆柱形毛坯材料外圆直径滚磨至要求尺寸；将滚磨后的毛坯材料平行于端面切割成厚度h₀的圆片毛坯，厚度2h＜h₀＜3h，其中h为超薄零件指标厚度，h₀和h的单位为cm；

第二步，退火：将圆片毛坯的外圆柱面用石英棉覆盖绝热，两端面用高热导率材料覆盖，然后将圆片毛坯放入退火炉中进行退火；退火温度区间设置为990～1200℃，在退火温度区间保温时间达到t＝520(h₀/2)²min，关闭退火炉电源等待冷却至室温后取出；

第三步，双面研磨：将退火后的圆片毛坯放入游星轮中进行双面研磨，圆片毛坯的上下端面同时开始减薄，保证上下两端面减薄量相同；研磨盘选用金刚石固结磨料研磨盘、铸铁研磨盘、复合铜盘或复合锡盘；研磨时，金刚石固结磨料研磨盘搭配纯水进行研磨，其他研磨盘搭配碳化硅或氧化铝研磨粉进行研磨；双面研磨时，将圆片毛坯的两端面平行度控制在0.06μm/mm以下，研磨后零件剩余厚度大于游星轮最小厚度0.1～0.2mm；

第四步，A面研磨：用沥青或火漆将圆片毛坯的B面粘接于载物盘上，粘接采用点胶方式，圆片毛坯平铺于载物盘上；粘接后用一级精度光学平晶压在圆片毛坯上方保持平稳加载，光学平晶覆盖住每一片圆片毛坯，放入保温箱保温1小时，温度设置为60℃；冷却后采用第三步所述研磨工具单面研磨圆片毛坯的A面，对A面进行研磨，研磨后圆片毛坯剩余厚度为1.55h；所述A面为圆片毛坯的一个端面，B面为圆片毛坯的另一个端面；

第五步，沥青环抛A面：保持第四步研磨减薄后的圆片毛坯在盘，采用沥青环抛的方式对圆片毛坯进行抛光，抛光液为0.3μm氧化铝、浓度为7％，去除量0.05h，根据圆片毛坯面形调节校正盘位置，使A面的平面度加工至指标要求，圆片毛坯剩余厚度为1.5h；

第六步，光胶A面：经过第五步后，将圆片毛坯的A面光胶至高精度光胶垫板上，要求完全贴合，贴合面不允许有干涉条纹及气泡；

第七步，B面研磨：采用第四步所述方法单面研磨B面，厚度减薄量0.45h；

第八步，沥青环抛B面：采用第五步所述方法对圆片毛坯的B面进行抛光，去除量0.05h，且使B面的平面度加工至指标要求，圆片毛坯剩余厚度为h，即为超薄零件成品。

2.根据权利要求1所述的一种高精度超薄光学零件的增厚-光胶-对称减薄加工方法，其特征在于：所述的高热导率材料包括氧化铝陶瓷板或氧化锆陶瓷板。