[发明专利]一种微细结构的抛光方法及装置

权利要求书

1.一种微细结构的抛光装置，其特征在于，所述的装置包括抛光系统、抛光液循环装置、振动装置；所述抛光系统与抛光液循环装置连接，抛光系统内设有用于产生剪切增稠与化学复合效应的抛光液，抛光液从抛光系统侧面流出通过管路进入抛光液循环装置，经抛光液循环装置后从抛光系统另一侧面顶部进入抛光系统，完成整个抛光液循环过程；所述述抛光系统内设有旋转装置、搅拌装置，带动抛光液以一定转速旋转，并使其均匀分散；工件与振动装置连接，并浸入抛光液内，通过工件振动与抛光液旋转耦合的方式使抛光液发生剪切增稠现象，完成工件表面的振动抛光；

所述的装置包括抛光系统、抛光液循环装置、振动装置和角度调节装置；

所述抛光系统包括抛光液(8)、旋转装置和搅拌装置(15)；所述抛光液(8)置于抛光池内；所述旋转装置包括旋转台(9)和步进电机(14)，旋转台(9)置于抛光池底部，由步进电机(14)驱动旋转，带动抛光液(8)旋转；所述搅拌装置(15)置入抛光池内，用于使抛光液(8)均匀分散；所述抛光系统与抛光液循环装置相连接，抛光液(8)从抛光池底部侧面流出通过循环管路(10)进入抛光液循环装置；

所述抛光液循环装置位于抛光系统下方，包括循环管路(10)及通过循环管路(10)依次连通的过滤装置(11)、柱塞泵(12)和温度调节装置(13)；所述循环管路(10)两端分别与抛光池两侧面的顶端与底部连接，用于抛光液(8)的循环流动；所述抛光液(8)从抛光池一侧面底部流出进入抛光液循环装置后首先流入过滤装置(11)，过滤装置(11)内设有大颗粒滤网和自动排料口，能够过滤掉抛光过程中产生的大颗粒磨屑和大粒子簇(25)；所述柱塞泵(12)一侧与过滤装置(11)连接，另一侧通过温度调节装置(13)后与抛光池另一侧面顶部连通，抛光液(8)从顶部进入抛光池，完成整个抛光液循环过程，其中柱塞泵(12)为抛光液(8)循环流动提供动力；所述温度调节装置(13)包括温度传感器与温度调节器，用于保证整个循环系统中的抛光液(8)温度恒定，保证抛光条件的一致性；

所述振动装置位于抛光系统上方，包括振动控制器(1)、起振器(2)和活塞杆(3)，振动装置底部与角度调节装置相连；所述振动控制器(1)与起振器(2)连接，用于调节振幅和频率，确保抛光液(8)发生剪切增稠效应，起振器(2)位于抛光池正上方，是振动装置的动力源，所述起振器(2)底部连接活塞杆(3)；

所述角度调节装置包括U型块(4)、棘轮机构(5)和工件夹具(6)；所述U型块(4)水平端中部与活塞杆(3)底部相连，U型块(4)垂直端深入抛光液(8)内，底部通过棘轮机构(5)与工件夹具(6)相连；所述棘轮机构(5)可实现与竖直方向0-90°的角度调整；所述工件夹具(6)与微细结构工件(7)固接。

2.根据权利要求1所述的一种微细结构的抛光装置，其特征在于，所述棘轮机构(5)单次角度可调15°。