[发明专利]有机发光显示基板及其制备方法、显示装置在审
申请号: | 202010493339.5 | 申请日: | 2020-06-03 |
公开(公告)号: | CN111969008A | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 宋威;崔容豪;赵策;王明;刘军;汪军;刘宁;胡迎宾;倪柳松 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;姜春咸 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光 显示 及其 制备 方法 显示装置 | ||
本发明提供一种机发光显示基板及其制备方法、显示装置,属于显示技术领域,其可至少部分解决现有的有机发光显示基板制作工艺复杂的问题。本发明的一种有机发光显示基板,包括:衬底;设于所述衬底上的遮光层;设于衬底上的薄膜晶体管,薄膜晶体管的有源层和栅极均位于遮光层远离衬底的一侧,薄膜晶体管的源极和漏极与遮光层同层设置,源极和漏极分别与有源层通过导电结构连接。
技术领域
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种有机发光显示基板及其制备方法、显示装置。
背景技术
目前,有源矩阵有机发光二极管(Active-matrix organic light emittingdiode, AMOLED)形成的有机发光显示装置在功耗和图像方面具有优异的特性,因此,该有机发光显示装置的应用越来越广泛。
现有技术中的一种有机发光显示装置的基板结构如图1所示,该发光显示装置的基板包括薄膜晶体管以及遮光层2。在制作该发光显示装置的基板步骤中,需要分别形成薄膜晶体管的源极5、漏极6和遮光层2,使得该发光显示装置的工艺步骤较多,制作工艺复杂。
发明内容
本发明至少部分解决现有的有机发光显示基板制作工艺复杂的问题,提供一种制作工艺简单的有机发光显示基板及其制作方法。
解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种有机发光显示基板,包括:
衬底;
设于所述衬底上的遮光层;
设于所述衬底上的薄膜晶体管,所述薄膜晶体管的有源层和栅极均位于所述遮光层远离所述衬底的一侧,所述薄膜晶体管的源极和漏极与所述遮光层同层设置,所述源极和漏极分别与所述有源层通过导电结构连接。
进一步优选的是,所述薄膜晶体管的栅极层设于所述有源层远离所述衬底的一侧,所述导电结构与所述栅极层同层设置。
进一步优选的是,该有机发光显示基板还包括:缓冲层,设于所述遮光层和所述有源层之间,且覆盖所述源极和漏极。
进一步优选的是,该有机发光显示基板还包括:层间介质层,设于所述有源层和所述栅极层之间,且覆盖所述源极和漏极。
进一步优选的是,所述层间介质层具有第一通孔和第二通孔,所述有源层通过所述第一通孔与所述导电结构连接;所述缓冲层具有与所述第二通孔连通的第三通孔,所述源极、漏极分别通过所述第三通孔、第二通孔与所述导电结构连接。
解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种有机发光显示基板的制备方法,基于上述的机发光显示基板,包括:
采用图案化的方式在衬底上形成遮光层、源极和漏极;
在所述遮光层远离所述衬底的一侧形成有源层;
在所述有源层离所述衬底的一侧形成导电结构,以使所述导电结构将所述源极和漏极分别与所述有源层连接。
进一步优选的是,所述在所述有源层离所述衬底的一侧形成导电结构包括:在所述有源层离所述衬底的一侧形成栅极层。
进一步优选的是,所述采用图案化的方式在衬底上形成遮光层、源极和漏极和所述在所述遮光层远离所述衬底的一侧形成有源层之间还包括:在所述衬底上形成覆盖所述遮光层、源极和漏极的缓冲层。
进一步优选的是,所述在所述遮光层远离所述衬底的一侧形成有源层和所述在所述有源层离所述衬底的一侧形成导电结构之间还包括:在所述衬底上形成覆盖所述有源层的层间介质层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的