[发明专利]一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计

权利要求书

1.一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，包括金属基(1)和第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)，其特征在于：金属基(1)包括质量块(3)、挠性铰链(4)和固定金属基座(5)，质量块(3)通过挠性铰链(4)和固定金属基座(5)连接，挠性铰链(4)位于质量块(3)和固定金属基座(5)的中部；第一双端固支石英音叉(2-a)和第二双端固支石英音叉(2-b)的结构相同，贴装于金属基(1)和固定金属基座(5)的侧面，以差动方式布置；

所述的固定金属基座(5)在两侧开有第一石英音叉叉齿活动槽(7-a)、第二石英音叉叉齿活动槽(7-b)；固定金属基座(5)在两侧设有第一封装应力隔离机构(8-a)、第二封装应力隔离机构(8-b)，第一封装应力隔离机构(8-a)包括第一隔离台(9-a)，第一隔离台(9-a)四周设有第一隔离柱状开孔(10-a)、第二隔离柱状开孔(10-b)、第三隔离柱状开孔(10-c)、第四隔离柱状开孔(10-d)；第二封装应力隔离机构(8-b)包括第二隔离台(9-b)，第二隔离台(9-b)四周设有第五隔离柱状开孔(10-e)、第六隔离柱状开孔(10-f)、第七隔离柱状开孔(10-g)、第八隔离柱状开孔(10-h)；第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)的第二固定基座(11-b)分别固定在第一隔离台(9-a)、第二隔离台(9-b)。

2.根据权利要求1所述的一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的金属基(1)由无应力或者低应力工艺加工而成。

3.根据权利要求1所述的一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的挠性铰链(4)在敏感方向SA上具有弹性特性。

4.根据权利要求1所述的一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的质量块(3)在两侧设有第一凸台(6-a)、第二凸台(6-b)，第一凸台(6-a)、第二凸台(6-b)用于固定第一双端固支石英音叉(2-a)、第二双端固支石英音叉(2-b)的第一固定基座(11-a)。

5.根据权利要求1所述的一种小型化侧面贴装差动型集成式谐振加速度计，其特征在于：所述的第一双端固支石英音叉(2-a)和第二双端固支石英音叉(2-b)采用石英微加工工艺得到，每个双端固支石英音叉的第一叉齿(12-a)和第二叉齿(12-b)四周布置有电极，在激振电路的作用下会处于稳定谐振状态。