[发明专利]一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法

说明书

本发明提供一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，通过在暂存腔内设置风机过滤模块实现，其特征在于，所述风机过滤机组模块包括控制系统、粒子浓度探头和风机过滤机组，粒子浓度探头设于暂存腔的侧壁上，用于采集暂存腔的洁净度数据并反馈给控制系统；风机过滤机组包括上过滤风机和下过滤风机，下过滤风机位于暂存腔的底部，用于将空气过滤后吸入暂存腔内，上过滤风机位于暂存腔的顶部，用于将暂存腔内的热空气和尘埃微粒加速排出暂存腔；控制系统获取粒子浓度探头反馈的洁净度数据，根据数据控制风机过滤机组的转速，该方法可改善暂存冷却腔室的洁净度达到千级标准，从而提升光伏电池良率，还可极大的节约成本。

技术领域

本发明属于太阳能光伏行业领域，尤其涉及一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法。

背景技术

随着新能源技术的发展，晶硅太阳能电池发展迅猛，晶硅太阳能电池是一种可以将太阳光能转化成为电能的电子元器件。晶体硅类太阳能电池的制备一般经过制绒、扩散、镀膜、丝网印刷、烧结等工序。高温炉管机台是目前光伏工艺处理中经常使用的一种机台，主要分为主机台反应腔：对产品进行高温反应的密闭腔室，工艺后暂存腔：工艺后产品表面温度仍然很高，需暂存冷却到室温，自动化装卸腔：自动化机械手装卸腔，可以用于进行扩散、氧化、退火等多种光伏工艺处理。

其中高温炉管机台的暂存腔室内存放有垂直放置的石英舟，高温工艺处理后的硅片沿石英舟开口方向垂直插入石英舟内暂存降温，由于存放量大，硅片放置位之间的间距较小，导致石英舟及硅片之间气体流动均匀性变差，从而造成散热不均匀，洁净度变差，使得各硅片上有浮落异物，严重影响硅片成品的良率，现有技术可以通过建造更高的高温炉管机台来实现增加石英舟的间距，从而提高散热，但是受车间环境条件限制难以实现，同时成本巨大。

发明内容

鉴于以上，本发明提供一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，可以在不提高重新设计机台的前提下，改善暂存冷却腔室的洁净度达到千级标准，从而提升光伏电池良率，还可极大的节约成本。具体技术方案如下。

一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，通过在暂存腔内设置风机过滤模块实现，其特征在于，所述风机过滤机组模块包括控制系统、粒子浓度探头和风机过滤机组，

粒子浓度探头设于暂存腔的侧壁上，用于采集暂存腔的洁净度数据并反馈给控制系统；

风机过滤机组包括上过滤风机和下过滤风机，下过滤风机位于暂存腔的底部，用于将空气过滤后吸入暂存腔内，上过滤风机位于暂存腔的顶部，用于将暂存腔内的热空气和尘埃微粒加速排出暂存腔；

控制系统获取粒子浓度探头反馈的洁净度数据，根据数据控制风机过滤机组的转速。

进一步，所述控制系统收到粒子浓度探头反馈的数据后，判断当粒子浓度达到万级时，提高风机过滤机组的转速，当粒子浓度达到千级后，降低风机过滤机组的转速，保持暂存腔的千级洁净度。

进一步，所述控制系统刚开机时，主动控制风机过滤机组逐步提高转速，实现快速清洁暂存腔内空气。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1为本发明高温炉管暂存腔内设置风机过滤模块的结构示意图；

图2为本发明高温炉管暂存腔的洁净度控制方法的流程示意图；

其中，1为暂存腔，2为上过滤风机，3为石英舟存放区，4为粒子浓度探头，5为下过滤风机。

具体实施方式