[发明专利]一种微型发光二极管巨量转移装置及方法有效
申请号: | 202010496154.X | 申请日: | 2020-06-03 |
公开(公告)号: | CN112967972B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 李强;许时渊 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/48 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 徐凯凯;吴志益 |
地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微型 发光二极管 巨量 转移 装置 方法 | ||
1.一种微型发光二极管巨量转移装置,其特征在于,包括:
溶液装载容器,所述溶液装载容器内放置有转移溶液,所述转移溶液的液面上漂浮有待转移的微型发光二极管;
显示背板,所述显示背板竖直浸泡于所述转移溶液内,所述显示背板设置有一个或者多个,所述显示背板上设置有多个芯片安装槽,多个所述芯片安装槽的安装槽开口方向朝向所述微型发光二极管,多个所述芯片安装槽中的至少一个所述芯片安装槽暴露于液面上;
溶液驱动组件,所述溶液驱动组件设置于所述溶液装载容器内,所述溶液驱动组件用于为所述转移溶液提供离心力,以便于所述微型发光二极管在所述离心力与所述转移溶液所提供的浮力的作用下移动至暴露于所述液面上的所述芯片安装槽内;
液面控制组件,所述液面控制组件与所述溶液装载容器连通,用于控制所述溶液装载容器内所述转移溶液的液面高度,以暴露出更多的所述芯片安装槽,或是淹没已经暴露的部分所述芯片安装槽。
2.根据权利要求1所述的一种微型发光二极管巨量转移装置,其特征在于:所述溶液驱动组件包括驱动轴、叶轮和驱动电机;
所述驱动轴设置于所述溶液装载容器的中央,所述叶轮固定设置于所述驱动轴上,所述驱动轴的一端延伸至所述溶液装载容器以外并与所述驱动电机相连;所述驱动电机通过所述驱动轴带动所述叶轮转动,从而为所述溶液装载容器内的所述转移溶液提供离心力。
3.根据权利要求1所述的一种微型发光二极管巨量转移装置,其特征在于:所述芯片安装槽为喇叭状结构。
4.根据权利要求1所述的一种微型发光二极管巨量转移装置,其特征在于:所述芯片安装槽由安装槽底面、安装槽开口和安装槽侧面形成,所述安装槽底面的面积小于所述安装槽开口的面积,所述安装槽侧面从所述安装槽开口逐渐倾斜过渡到所述安装槽底面。
5.根据权利要求1所述的一种微型发光二极管巨量转移装置,其特征在于:所述转移溶液为甲基吡咯烷酮溶液或者丙酮溶液。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种微型发光二极管巨量转移装置,其特征在于:还包括一溶液缓存容器,所述溶液缓存容器与所述溶液装载容器相连。
7.一种微型发光二极管巨量转移方法,其特征在于,所述方法基于上述权利要求1-6任一项中的微型发光二极管巨量转移装置,所述方法包括:
将基板上的微型发光二极管剥离至溶液装载容器内,其中,所述溶液装载容器内设有转移溶液,所述微型发光二极管漂浮于所述转移溶液的液面上,所述溶液装载容器内设有显示背板,所述显示背板上设有多个芯片安装槽;
控制所述液面与多个所述芯片安装槽上的目的安装槽之间的水平高度差达到预设值,其中,所述目的安装槽为多个所述芯片安装槽上的至少一个;
驱动所述转移溶液运动产生离心力,以使得漂浮于所述转移溶液的液面上的所述微型发光二极管被驱动至所述目的安装槽内。
8.根据权利要求7所述的一种微型发光二极管巨量转移方法,其特征在于,所述基板为生长基板,所述将基板上的微型发光二极管剥离至溶液装载容器内,包括:
通过激光将所述生长基板上的所述微型发光二极管剥离,脱离所述生长基板的所述微型发光二极管受重力作用落入所述转移溶液内。
9.根据权利要求7所述的一种微型发光二极管巨量转移方法,其特征在于,所述基板为暂存基板;所述将基板上的微型发光二极管剥离至溶液装载容器内,包括:
将所述暂存基板浸入所述转移溶液内,通过所述转移溶液溶解所述暂存基板与所述微型发光二极管之间的芯片粘结层,使得所述微型发光二极管脱离所述暂存基板而直接进入所述转移溶液内。
10.根据权利要求7所述的一种微型发光二极管巨量转移方法,其特征在于,所述微型发光二极管包括至少红色微型发光二极管、绿色微型发光二极管和蓝色微型发光二极管。
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