[发明专利]一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置

权利要求书

1.一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，包括扩散箱（1）和溶液箱（2），所述扩散箱（1）位于溶液箱（2）右侧，所述溶液箱（2）内填充有氢氟酸，所述扩散箱（1）内开凿有接触空腔（3），其特征在于：所述接触空腔（3）内设有导气框（4），所述导气框（4）内壁固定连接有多个均匀分布的固定轴（5），所述固定轴（5）外端固定连接有限位圆块（6），所述固定轴（5）外端套设有活动套（7），所述活动套（7）外端固定连接有多个均匀分布的侧向弹性条（8），所述侧向弹性条（8）外端开凿有多个均匀分布的倒梯形卡槽（9），硅片卡接在倒梯形卡槽（9）内，所述倒梯形卡槽（9）内底端固定连接有第一气囊（11），所述第一气囊（11）内填充有气体二氧化碳，所述倒梯形卡槽（9）内底端固定连接有卡槽（12），所述卡槽（12）位于第一气囊（11）内，所述第一气囊（11）内壁固定连接有一对与卡槽（12）相匹配的卡块（13），所述导气框（4）底端开凿有多个均匀分布且与活动套（7）相对应的条形孔（14），所述条形孔（14）位于活动套（7）下侧。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述接触空腔（3）左右内壁固定连接有水平封板（15）和丝杠（16），所述丝杠（16）位于水平封板（15）下侧，所述接触空腔（3）左右内壁固定连接有两个关于丝杠（16）对称的弹性过滤网（17），两个所述弹性过滤网（17）相互远离的一侧均设有碳酸氢钙粉末，所述丝杠（16）外端啮合连接有螺母（18），所述螺母（18）外端固定连接有第二气囊（19），所述第二气囊（19）内填充有气态二氧化碳，所述第二气囊（19）外端固定连接有防磨环，所述防磨环与弹性过滤网（17）均由铜材质制成，所述第二气囊（19）内设有多个均匀分布的外拓装置（20），所述外拓装置（20）有螺母（18）固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述外拓装置（20）包括连接套筒（21），所述连接套筒（21）与螺母（18）固定连接，所述连接套筒（21）内插设有插杆（22），所述插杆（22）与连接套筒（21）内底端固定连接有第一压缩弹簧（23），所述插杆（22）远离第一压缩弹簧（23）的一端固定连接有环形柱（24），所述环形柱（24）位于第二气囊（19）内且与第二气囊（19）相接触。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述扩散箱（1）与溶液箱（2）之间设有第一导管（201）和第二导管（202），所述第二导管（202）位于第一导管（201）下侧，所述第一导管（201）和第二导管（202）均与溶液箱（2）和接触空腔（3）相互连通，所述第二导管（202）位于丝杠（16）上侧。

5.根据权利要求1所述的一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述接触空腔（3）右端安装有主开关门（301），所述接触空腔（3）左端安装有副开关门（302），所述主开关门（301）和副开关门（302）均位于水平封板（15）上侧。

6.根据权利要求1所述的一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述接触空腔（3）内壁开凿有梯形滑槽（303），所述导气框（4）外端固定连接有梯形滑块（403），所述梯形滑块（403）位于梯形滑槽（303）内且与梯形滑槽（303）滑动连接，所述导气框（4）上下内壁之间固定连接有多个均匀分布的竖直封板（401），多个所述竖直封板（401）关于活动套（7）两两对称，所述竖直封板（401）外侧嵌设有过滤网（402）。

7.根据权利要求1所述的一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述活动套（7）外端固定连接有指环（701），所述指环（701）表面刻有防滑纹。