[发明专利]一种基于石墨的临时键合和解键方法

权利要求书

1.一种基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、提供一载片，在所述载片的正面规则的开一定形状的槽； 步骤2、在所述载片的槽中放置石墨； 步骤3、将载片正面和器件晶圆上设置键合胶； 步骤4、将器件晶圆正面与载片正面进行键合，得到临时晶圆键合对； 步骤5、对加工后的临时晶圆键合对，对器件晶圆背面进行加工； 步骤6、将器件晶圆正面与载片正面进行解键合，将器件晶圆与载片进行分离。

2.根据权利要求1所述的基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，步骤1中所述载片的材料使用玻璃。

3.根据权利要求1所述的基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，步骤1中所述载片开槽的宽度为0.5mm~1mm。

4.根据权利要求1所述的基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，步骤1中所述载片开槽通过刻蚀进行制作。

5.根据权利要求1所述的基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，步骤1中所述载片开槽面积占整体载片面积的50%~60%。

6.根据权利要求1所述的基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，步骤2中载片的槽中放置的石墨高度不能超过载片槽深。

7.根据权利要求1所述的基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，步骤2中载片的槽中放置的石墨粉直径不能超过30μm。

8.根据权利要求1所述的基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，步骤3中的键合胶采用聚碳酸亚丙酯和光致产酸剂混合而成。

9.根据权利要求1所述的基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，键合胶中使用20wt%的聚碳酸亚丙酯，光致产酸剂为5wt%的4-异丙基-4'-甲基二苯基碘离子四(五氟苯基)硼酸盐。

10.根据权利要求1所述的基于石墨的临时键合和解键方法，其特征在于，步骤3中设置键合胶时，需要对设置在设置键合胶后的器件晶圆与载片进行加热，将键合胶设置平整，加热温度为25°，加热时间为25分钟。