[发明专利]基板干燥装置

权利要求书

1.一种基板干燥装置，其包括：

腔室，其提供用于干燥基板的干燥空间；

超临界流体产生及储存单元，其产生并储存被供应到所述腔室内的所述干燥空间的超临界流体；以及

超临界流体供应调节单元，其安装在所述超临界流体产生及储存单元与所述腔室之间的供应管线中，并且调节储存在所述超临界流体产生及储存单元中的、待供应至所述腔室的所述超临界流体，

其中，所述超临界流体供应调节单元包括：

主开闭阀，其确定是否供应储存在所述超临界流体产生及储存单元中的所述超临界流体；

计量阀，其调节经过所述主开闭阀的所述超临界流体的流量；以及

孔口，其安装在所述主开闭阀和所述计量阀之间，并且降低由所述超临界流体经过所述主开闭阀而施加在所述计量阀上的压差。

2.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其中，当经过所述主开闭阀的所述超临界流体经过所述孔口时，所述超临界流体的流动被缓冲，使得经过所述计量阀的所述超临界流体的流量波动被抑制。

3.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其还包括：

第一分支管线，其从定位在所述超临界流体供应调节单元的后端处的所述供应管线的第一点分支出来，并提供路径，通过该路径使得经过所述超临界流体供应调节单元的初始加压用超临界流体通过形成在所述腔室的侧面中的集成供排口而供应到所述腔室内的所述干燥空间；和

第二分支管线，其从所述第一点分支出来，并提供路径，通过该路径使得经过所述超临界流体供应调节单元的干燥用超临界流体通过形成在所述腔室的上表面中的上供应口而供应到所述腔室内的所述干燥空间。

4.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其还包括加热器单元，所述加热器单元安装在所述计量阀和所述第一点之间的所述供应管线中，并且加热经过所述计量阀的所述超临界流体。

5.根据权利要求3所述的基板干燥装置，其中，所述腔室包括：

上壳体；

下壳体，其联接至所述上壳体，以能够打开或关闭；以及

基板放置板，其联接至所述下壳体的底表面，并且在所述基板放置板上布置其上形成有有机溶剂的所述基板，并且

其中，所述集成供排口形成为从所述下壳体的一个侧面延伸至另一侧面，形成为在所述一个侧面和所述另一侧面之间的中间区域中朝向所述基板放置板，并提供路径，通过该路径使得通过所述供应管线和所述第一分支管线供应的所述初始加压用超临界流体供应到所述腔室中，并提供另一路径，通过该另一路径使得在干燥后所述有机溶剂溶解在所述干燥用超临界流体中的混合流体被排出，并且

所述上供应口形成为在所述上壳体的中间区域中朝向所述基板放置板，并提供路径，通过该路径使得通过所述供应管线和所述第二分支管线供应的所述干燥用超临界流体供应到所述腔室中。

6.根据权利要求5所述的基板干燥装置，其还包括：

初始加压开闭阀，其安装在所述计量阀和所述集成供排出口之间的所述第一分支管线中，并且确定是否供应所述初始加压用超临界流体；

干燥开闭阀，其安装在所述计量阀和所述上供应口之间的所述第二分支管线中，并且确定是否供应所述干燥用超临界流体；以及

排出开闭阀，其安装在与所述集成供排口连接的排出管线中，并且确定是否排出所述混合流体。

7.根据权利要求5所述的基板干燥装置，其中，所述集成供排口包括：

第一管线，其形成为从所述下壳体的所述一个侧面延伸至所述中间区域；

公共口，其形成为在所述中间区域中与所述第一管线连通并朝向所述基板放置板；以及

第二管线，其形成为在所述中间区域中与所述公共口和所述第一管线连通并延伸至所述下壳体的所述另一侧面。

8.根据权利要求7所述的基板干燥装置，其中，所述第一管线和所述公共口提供所述初始加压用超临界流体的供应路径，并且

所述公共口和所述第二管线提供所述混合流体的排出路径。