[发明专利]一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法在审
| 申请号： | 202010501365.8 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111644738A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;赵梓聿 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/14;B23K20/233;C22F1/04;C23G1/12;B23K103/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝靶材 组件 降低 背板 变形 焊接 方法 | ||
1.一种降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：提供铝靶材和铝背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板。
2.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述热处理的温度为470-500℃；
优选地，所述热处理的保温时间为50-70min。
3.如权利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，所述热处理后经空冷至室温。
4.如权利要求1-3任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；
优选地，所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为(0.5-1.5):(2.5-3.5):(3.5-4.5)。
5.如权利要求1-4任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述酸洗的时间为0.5-1.5min。
6.如权利要求1-5任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述抽真空的终点为真空度小于0.001Pa。
7.如权利要求1-6任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述脱气的温度为150-250℃；
优选地，所述脱气的压强为0.001-0.002Pa；
优选地，所述脱气的时间为4.5-5.5h。
8.如权利要求1-7任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述热等静压处理的温度为250-270℃；
优选地，所述热等静压处理的压强≥100MPa；
优选地，所述热等静压处理的时间为4.5-5h。
9.如权利要求1-7任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：提供铝靶材和铝背板；
将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件；
所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；
其中，所述热处理的温度为470-500℃；所述热处理的保温时间为50-70min；所述热处理后经空冷至室温；所述酸洗的酸洗液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液；所述混合溶液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为(0.5-1.5):(2.5-3.5):(3.5-4.5)；所述酸洗的时间为0.5-1.5min；所述抽真空的终点为真空度小于0.001Pa；所述脱气的温度为150-250℃；所述脱气的压强为0.001-0.002Pa；所述脱气的时间为4.5-5.5h；所述热等静压处理的温度为250-270℃；所述热等静压处理的压强≥100MPa；所述热等静压处理的时间为4.5-5h。
10.一种如权利要求1-9任一项所述焊接方法得到的铝靶材组件，其特征在于，所述铝靶材组件中背板的硬度为100-130HV，电导率为25-28MS/m。
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