[发明专利]一种真空镀膜机工件治具转舱机械手

说明书

本发明公开了一种真空镀膜机工件治具转舱机械手，所述机械手通过其自身所具有的前后伸缩上下升降和旋转及沿导轨平移的运动功能，上、下爪手的卡口以及治具设计对应插杆上的卡块，以及上、下爪手之间的支撑板提供有力支撑和主框架及其底座的承载,实现了单个大型治具的夹取，并能精准转移到达某一功能舱室安装后再返回进行下一治具的夹取，所述真空镀膜机的机械手适用于单挂体积或重量较大的治具，且该类镀膜机由于不需要将整个工件架整体输送，故不需要特别设计尺寸过大的舱门，降低了造价，所述治具的转舱方法，有效减少了破真空的次数，通过对治具在加热舱加热再分送至各不同膜系的镀膜舱同时进行不同膜系的镀膜，大幅度提升了加工效率。

技术领域

本发明涉及一种机械手，特别涉及一种多舱室式的真空镀膜机工件治具转舱机械手。

背景技术

传统单镀舱立式真空镀膜机，需要将待镀工件在炉外人工装挂在治具（或工件架的装挂板或挂杆） 上，然后人工将治具逐件挂装入炉内的工件架上，进行镀膜。

近年来，为了提高镀膜效率，出现多舱室式真空镀膜机，其舱室布局包括如下两种：第一种是中央为直线传送轨导舱，前后两端分别为进料舱和出料舱，而其左右两侧布置多个功能舱；另一类是中心对称卫星型布局，多个功能舱围绕中心周转舱放射式环形分布。多舱室式镀膜机的各舱室能同时实施镀膜工艺不同阶段的功能，提高了产能，节约了破真空、抽真空的辅助时间，且镀膜舱室始终处于真空状态，降低破真空时充入杂气的影响，提高镀膜质量和稳定性。

上述多舱室式真空镀膜机为了提升镀膜效率，其镀膜舱的工件架直径较大，达1500mm以上，要容纳多达20个或以上的治具，而每个冶具高达一米多，宽近150mm—200mm，一个治具装料后重达几十kg，整体工件架直径达1500mm以上。上述多舱室式镀膜机的冶具要在真空状态下转舱。转舱运送方式有两种：一种是把整个工件架的冶具整体一起传送，一种是把工件架上的冶具逐挂传送。前一种方式多采用工件架整车转移，其速度较快、工效高，但对于大型工件架因其体积大重量大，对结构设计求要高些；最大的困难是各舱室真空舱门要求更大的尺寸,其设计和制造难度高，造价高。而后一种方式可以避开大尺寸真空舱门的难题，但必须配备炉内治具逐挂转移舱室的机械手装置。

发明内容

发明所要解决的技术问题，就是提供一种真空镀膜机工件治具转舱机械手，其能适应各种类型的镀膜生产线，且结构简单紧凑，可对应于较小的镀膜舱室舱门，以降低成本。

解决上述技术问题的技术方案如下：

一种真空镀膜机工件治具转舱机械手，所述工件治具设置有位于治具上端面的上插杆和位于治具下端面下插杆，其特征在于，

包括用于夹持所述治具的夹持机构，以及分别控制所述夹持机构伸缩、升降的伸缩机构、升降机构，以及控制所述夹持机构转舱的旋转机构和平移机构，其中：

所述夹持机构，包括支撑板和爪手，所述爪手包括设置于所述支撑板顶端的、且用于夹持所述上插杆的上爪手，和设置于所述支撑板底端的、用于夹持所述下插杆的、且平行于所述上爪手的下爪手；上爪手和下爪手的前端均开有卡口，用于卡住夹持冶具上、下插杆。

所述伸缩机构，包括平行于水平面的横向气缸，用于固定所述横向气缸的横向气缸固定座，设置于所述横向气缸固定座之上、下端并与所述爪手同方向延伸的横轨固定板，设置于所述横轨固定板面向所述爪手的一侧的横轨，用于连接所述横轨和爪手的横轨滑块，所述横向气缸的横向活塞推杆末端与所述支撑板固定连接；

所述升降机构，包括主框架固定座，固定于所述主框架固定座的主框架设置于主框架固定座上端面的纵向气缸固定座，设置于所述纵向气缸固定座上端面的纵向气缸，设置于所述主框架内侧壁上的纵轨，用于连接所述纵轨与所述伸缩机构上的纵轨滑块，所述纵向气缸的纵向活塞推杆竖直向上延伸，所述纵向活塞推杆的末端与所述伸缩机构的底部固定连接；