[发明专利]预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法

权利要求书

1.一种预调整设备，其用于对镜头模组进行各个参数的调整，其特征在于，包括：

载具，用于承载镜头模组，所述镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于所述镜头安装底板上；

位于所述载具下方的基台，用于承载驱动模块及图像处理模块，所述驱动模块用于驱动所述图像处理模块运动以获取所述多个镜头的输出信号；

处理单元，用于根据所述输出信号获取调整数据，所述调整数据用于调整所述多个镜头的参数而得到经过预调整的镜头模组；

其中，所述预调整设备独立于曝光设备，所述镜头模组是独立组件，所述镜头模组在装配至曝光设备之前通过所述预调整设备进行预调整。

2.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，所述参数包括焦面、倍率及角度。

3.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，所述载具包括相邻设置的两个限位面，所述镜头安装底板包括相邻设置的两个基准面，两个限位面与两个基准面相互配合。

4.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，所述镜头安装底板包括多个安装孔，所述多个镜头可拆卸地安装于所述多个安装孔内，所述镜头安装底板包括相对设置的第一表面及第二表面，每一镜头包括相对设置的第一端面及第二端面，所述第一端面凸伸出所述第一表面，所述第二端面凸伸出所述第二表面。

5.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，所述镜头安装底板包括安装面，所述多个镜头可拆卸地安装于所述安装面上，所述镜头安装底板包括位于所述安装面的相对两侧的第一表面及第二表面，每一镜头包括相对设置的第一端面及第二端面，所述第一端面凸伸出所述第一表面，所述第二端面凸伸出所述第二表面。

6.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，每一镜头包括镜头本体及安装部，所述镜头安装底板包括多个安装孔，所述镜头本体穿过所述安装孔，所述安装部与所述安装孔的周缘区域配合，所述安装部与所述镜头安装底板之间设置有支撑件，所述支撑件用于根据所述调整数据调整所述镜头的焦面。

7.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，每一镜头包括镜头本体，所述镜头安装底板包括多个安装孔，所述镜头本体穿过所述安装孔，所述镜头本体被配置为根据所述调整数据相对所述安装孔转动以调整所述镜头的角度。

8.根据权利要求1所述的预调整设备，其特征在于，每一镜头包括镜头本体及活动连接所述镜头本体的镜筒，所述镜筒用于根据所述调整数据调整所述镜头的倍率。

9.一种预调整方法，其特征在于，包括步骤：

提供独立于曝光设备的预调整设备，所述预调整设备用于对镜头模组进行各个参数的调整，所述镜头模组是独立组件，所述镜头模组在装配至曝光设备之前通过所述预调整设备进行预调整，所述预调整设备包括载具；

将镜头模组安装至所述载具，所述镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于所述镜头安装底板上；

获取所述多个镜头的输出信号；

根据所述多个镜头的输出信号获取调整数据，并根据所述调整数据调整所述多个镜头的参数而得到经过预调整的镜头模组。

10.根据权利要求9所述的预调整方法，其特征在于，步骤“获取多个镜头的输出信号；根据多个镜头的输出信号调整多个镜头的参数”具体包括：

根据预设焦面数值调节某一镜头输出的焦面，并将该焦面定义为标准焦面；

获取其他镜头输出的焦面与所述标准焦面之间的差值；

根据所述差值调整所述镜头与所述镜头安装底板的相对位置而使得所述多个镜头的焦面均位于所述标准焦面。

11.根据权利要求10所述的预调整方法，其特征在于，所述方法还包括步骤：

判断所述多个镜头输出的标准图案是否位于所述标准焦面处；

当所述标准图案偏离所述标准焦面时，调节所述镜头的倍率直至所述标准图案位于所述标准焦面。