[发明专利]一种视觉耦合压电定位的微纳芯片高通量测试机器人

权利要求书

1.一种视觉耦合压电定位的微纳芯片高通量测试机器人，其特征在于，包括固定于扫描电镜样品台上的圆形基础平台，圆形基础平台上设有压电升降式第一周向旋转平台、压电升降式第二周向旋转平台，所述压电升降式第一周向旋转平台包括第一旋转检测装置，所述压电升降式第二周向旋转平台包括与第一旋转检测装置相配合的第二旋转检测装置，所述第一旋转检测装置与第二旋转检测装置的端部均设有微纳芯片放置槽，第一旋转检测装置与第二旋转检测装置旋转后，两者的端部相交配合形成微纳芯片观测区；所述圆形基础平台上设有与第一旋转检测装置和第二旋转检测装置相配合的视觉检测装置；

所述第一旋转检测装置的端部还设有与第二旋转检测装置端部微纳芯片放置槽相配合的方形孔，当第一旋转检测装置与第二旋转检测装置相交时，第二旋转检测装置端部的微纳芯片放置槽置于第一旋转检测装置方形孔的正下方，此时，呈相交的第一旋转检测装置和第二旋转检测装置端部的微纳芯片放置槽均位于扫描电镜检测范围内；

所述视觉检测装置包括用于对第一旋转检测装置、第二旋转检测装置端面轮廓进行图像反馈的第一视觉检测装置，以及用于对第一旋转检测装置、第二旋转检测装置端部相交位置进行图像反馈的第二视觉检测装置；所述第一视觉检测装置包括固定于圆形基础平台上的第一视觉压电伸缩杆和固定于第一视觉压电伸缩杆顶部的第一摄像装置；所述第二视觉检测装置包括固定于圆形基础平台上的第二视觉压电伸缩杆和固定于第二视觉压电伸缩杆顶部的第二摄像装置。

2.根据权利要求1所述的视觉耦合压电定位的微纳芯片高通量测试机器人，其特征在于，所述微纳芯片放置槽中设有多个卡槽。

3.根据权利要求2所述的视觉耦合压电定位的微纳芯片高通量测试机器人，其特征在于，所述压电升降式第一周向旋转平台包括与圆形基础平台转动连接的第一旋转杆，所述第一旋转杆的顶端固定有第一压电伸缩杆，所述第一压电伸缩杆的顶端固定有第一旋转支撑杆，所述第一旋转检测装置固定于第一旋转支撑杆上；所述压电升降式第二周向旋转平台包括与圆形基础平台转动连接的第二旋转杆，所述第二旋转杆的顶端固定有第二压电伸缩杆，所述第二压电伸缩杆的顶端固定有第二旋转支撑杆，所述第二旋转检测装置固定于第二旋转支撑杆上。

4.根据权利要求3所述的视觉耦合压电定位的微纳芯片高通量测试机器人，其特征在于，所述第一旋转检测装置包括结构相同且同轴设置在第一旋转支撑杆上的多个周向旋转杆，且所述的多个周向旋转杆在第一旋转支撑杆上呈上下交错设置；所述第二旋转检测装置包括结构相同且同轴设置在第二旋转支撑杆上的多个周向旋转杆，且在第二旋转支撑杆上呈上下交错设置。

5.根据权利要求4所述的视觉耦合压电定位的微纳芯片高通量测试机器人，其特征在于，所述圆形基础平台上还设有驱动第一旋转杆转动的第一驱动装置和驱动第二旋转杆转动的第二驱动装置，所述第一驱动装置和第二驱动装置均包括固定于圆形基础平台上的压电微马达，所述压电微马达的输出轴连接有主动齿轮，所述第一旋转杆和第二旋转杆上均固定有与相应主动齿轮相啮合的从动齿轮。