[发明专利]液滴产生器

说明书

本公开提供一种液滴产生器，包含操控系统、储槽、喷嘴、第一加热器、第二加热器以及第三加热器。操控系统用于控制液滴产生器的液滴释放的位置。储槽固持在操控系统上以用于存储锡。喷嘴与储槽连接以用于产生锡液滴，其中喷嘴包括依次连接的至少第一区、第二区以及第三区。第一加热器包围第一区中的喷嘴的周边表面。第二加热器包围第二区中的喷嘴的周边表面。第三加热器包围第三区中的喷嘴的周边表面，其中第一加热器、第二加热器以及第三加热器的加热是单独地进行控制。

技术领域

本公开实施例是有关于一种液滴产生器，以及包括有所述液滴产生器的 极紫外光刻器件。

背景技术

半导体行业已经由于各种电子组件(即，晶体管、二极管、电阻器、电 容器等)的集成密度的持续改进而经历快速发展。在很大程度上，集成密度 的这种改进来自最小特征大小的重复减小，这允许更多较小组件集成到给定 区域中。器件大小的减小已经符合例如光刻的半导体制造技术的进展。

发明内容

本揭露实施例提供一种液滴产生器，包含操控系统、储槽、喷嘴、第 一加热器、第二加热器以及第三加热器。操控系统用于控制液滴产生器的 液滴释放的位置。储槽固持在操控系统上以用于存储锡。喷嘴与储槽连接 以用于产生锡液滴，其中喷嘴包括依次连接的至少第一区、第二区以及第 三区。第一加热器包围第一区中的喷嘴的周边表面。第二加热器包围第二 区中的喷嘴的周边表面。第三加热器包围第三区中的喷嘴的周边表面，其 中第一加热器、第二加热器以及第三加热器的加热是单独地进行控制。

附图说明

结合附图阅读以下具体实施方式会最好地理解本公开的各方面。应注意， 根据业界中的标准惯例，各个特征未按比例绘制。实际上，为了论述清楚起 见，可任意增大或减小各种特征的尺寸。

图1示出根据本公开的一些示例性实施例的极紫外(extreme ultraviolet； EUV)光刻器件。

图2是根据本公开的一些示例性实施例的使用EUV光刻器件的方法的流 程图。

图3示出根据本公开的一些示例性实施例的液滴产生器的示意图。

图4示出根据本公开的一些示例性实施例的喷嘴的示意图。

图5示出根据本公开的一些其它示例性实施例的喷嘴的示意图。

图6示出根据本公开的一些其它示例性实施例的喷嘴的示意图。

图7A到图7D是根据本公开的一些示例性实施例的使用液滴产生器产生 一系列液滴的方法中的喷嘴的各个阶段的示意图。

图8是根据本公开的一些示例性实施例的使用液滴产生器产生一系列液 滴的方法的流程图。

图9是根据本公开的一些示例性实施例的使用液滴产生器产生一系列液 滴的方法的一个阶段中的喷嘴和捕集槽的示意性视图。

图10A和图10B是根据本公开的一些比较实施例的使用液滴产生器产生 一系列液滴的方法的各个阶段中的喷嘴和捕集槽的示意图。

附图标号说明

20：激光产生器；

21：输出窗口；

22：收集器；

23：气体供应器；

24：液滴产生器；

24A：操控系统；

24B：储槽；

24C：喷嘴；

24D：气体供应单元；

25：目标材料；

26：捕集槽；