[发明专利]一种PT对称垂动微机电系统

权利要求书

1.一种PT对称垂动微机电系统，其特征在于，包括衬底、锚区、第一微机电结构、第二微机电结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路；所述第一微机电结构、第二微机电结构共享衬底和锚区，且为镜像对称结构；其中，

所述第一微机电结构包括第一谐振梁、第一差分电容下电极、第一差分电容上电极、第一上电极锚区和第一耦合结构；

所述第二微机电结构包括第二谐振梁、第二差分电容下电极、第二差分电容上电极、第二上电极锚区和第二耦合结构；

锚区设置在衬底上，第一谐振梁的末端与锚区相连，第一上电极锚区设置在衬底上且位于第一谐振梁的顶端的侧面，第一差分电容上电极与第一上电极锚区连接且位于第一谐振梁的上方，第一差分电容下电极设置在衬底上且位于第一谐振梁的顶端的正下方，第一差分电容下电极与第一差分电容上电极正对靠近放置，第一谐振梁的顶端部分位于第一差分电容下电极与第一差分电容上电极中间位置，第一耦合结构位于第一谐振梁的侧面位置，第一耦合结构和第二耦合结构正对靠近形成静电耦合结构；

所述第一差分电容下电极和第一差分电容上电极分别与第一可调阻尼电路相连；所述第二差分电容下电极和第二差分电容上电极分别与第二可调阻尼电路相连；

所述第一可调阻尼电路作用于第一微机电结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机电结构的等效阻尼符号相反、大小相等。

2.根据权利要求1所述的一种PT对称垂动微机电系统，其特征在于，第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路的电路结构相同，第一可调阻尼电路包括依次顺序连接的机电转换电路、增益控制电路、相位控制电路和电机转换电路。