[发明专利]一种低成本LPCVD用载料舟及其制备方法

权利要求书

1.一种低成本LPCVD用载料舟，其特征在于，它包括：

金属骨架(1)，所述金属骨架(1)包括多块支撑板(11)和连接杆组(12)，多块所述支撑板(11)相对且间隔设置；所述连接杆组(12)包括连接多块所述支撑板(11)的至少一根第一连接杆(121)以及连接多块所述支撑板(11)且与所述第一连接杆(121)相平行的多根第二连接杆(122)，所述第一连接杆(121)与多根所述第二连接杆(122)处于不同平面内，所述第一连接杆(121)在多根所述第二连接杆(122)所处平面内的投影落在间距最大两根所述第二连接杆(122)之间；相邻两根所述第二连接杆(122)中相向的表面具有多个第一插槽(1212)，第一连接杆(121)中朝向所述第二连接杆(122)的表面具有与所述第一插槽(1222)相配合的多个第二插槽(1222)；

涂层，所述涂层形成在所述金属骨架(1)的表面。

2.根据权利要求1所述的低成本LPCVD用载料舟，其特征在于：每个所述第一插槽(1212)具有朝外延伸且间距逐渐增大的第一导向开口(1213)，每个所述第二插槽(1222)具有朝外延伸且间距逐渐增大的第二导向开口(1223)。

3.根据权利要求2所述的低成本LPCVD用载料舟，其特征在于：所述第一导向开口(1213)的两个斜面之间以及所述第二导向开口(1223)的两个斜面之间相互独立地形成45～75°的夹角。

4.根据权利要求2所述的低成本LPCVD用载料舟，其特征在于：所述第一导向开口(1213)深度与所述第一插槽(1212)深度之比为1：4.3～4.7，所述第二导向开口(1223)深度与所述第二插槽(1222)深度之比为1:2.8～3.2。

5.根据权利要求1所述的低成本LPCVD用载料舟，其特征在于：每块所述支撑板(11)包括板本体(111)以及开设在所述板本体(111)上且由其第一面向内凹陷的凹槽(112)，所述第一连接杆(121)位于所述第一面和多根所述第二连接杆(122)之间。

6.根据权利要求5所述的低成本LPCVD用载料舟，其特征在于：所述凹槽(112)延伸至所述第一连接杆(121)的两侧。

7.根据权利要求5所述的低成本LPCVD用载料舟，其特征在于：所述第一面与所述支撑板(11)的两侧面通过斜面(113)相连。

8.根据权利要求1所述的低成本LPCVD用载料舟，其特征在于：所述金属骨架(1)还包括形成在所述支撑板(11)外侧面上的多根卡接杆(13)或/和位于相邻两块所述支撑板(11)之间且被所述第一连接杆(121)和所述第二连接杆(122)贯穿的辅助支撑板(14)，所述辅助支撑板(14)上开设有避让槽(141)。

9.根据权利要求1所述的低成本LPCVD用载料舟，其特征在于：所述涂层为陶瓷涂层。

10.权利要求1至9中任一所述低成本LPCVD用载料舟的制备方法，其特征在于，它包括以下步骤：

(a)组装金属骨架(1)；

(b)将涂层材料喷涂至所述金属骨架(1)的表面，形成涂层。