[发明专利]光源检测设备

说明书

一种光源检测设备包含多个光纤、感光模块以及处理模块。每一个光纤经光输入端接收来自每一个光源的光线并输出至光输出端。感光模块包含一电路板、多个感光元件、一挡光结构、以及一转换电路。每一个感光元件接收来自每一个光输出端的光线并产生对应的一光信号。挡光结构位于多个感光元件之周围且连接于每一个光纤的光输出端。转换电路接收光信号并产生对应的电信号。处理模块比较电信号与一预设值，并计算出对应于每一个光源的光强度变化值。

技术领域

本发明涉及一种光源检测设备，特别是一种适于即时监测腔体内光源的光源检测设备。

背景技术

在一些半导体工艺中，晶圆或工件(workpiece)可以先通过预热步骤至特定工作条件，再实施离子注入工艺，亦可在完成低温工艺后，通过加热步骤以回复常温。一般而言，在上述加热方式中，可透过腔体内部的光源点亮后温度高达摄氏一千度以上，朝向元件照射发热来实现升温机制，亦即驱动腔体内光源作为发热源，提供热能以改变腔体内温度，以符合特定工艺所需求温度条件。通常在长时间使用下，光源可能衰减而影响加热效能，需要定期检测。

发明内容

然而，发明人认识到，腔体运作下可能处于低压或真空环境，若想检测光源，须等待机台停止运作后，额外架设量测仪器进行检测或校正，结束后再移除量测仪器，耗时费力，因而有所不便。因此，本发明的一些实施例提供一种光源检测设备，适用于即时监测腔体内(In situ)光源性能。

依据本发明的一些实施例，一种光源检测设备适用于监测位于一腔体内的多个光源，其中腔体的一盖板具有面向多个光源的多个通孔。光源检测设备包含多个光纤、感光模块以及处理模块。每一个光纤具有一光输入端及一光输出端。其中每一个光输入端分别耦合于每一个通孔。每一个光纤用于经光输入端接收来自每一个光源的光线并输出至光输出端。感光模块包含一电路板、多个感光元件、一挡光结构、以及一转换电路。其中多个感光元件位于电路板的一上表面且呈阵列排列。每一个感光元件用于接收来自每一个光输出端的光线并产生对应的一光信号。挡光结构位于多个感光元件的周围且连接于每一个光输出端。转换电路电性连接多个感光元件。转换电路用于接收每一个光信号并产生对应的一电信号。处理模块耦接于感光模块。处理模块用于接收对应于每一个感光元件的电信号，比较电信号与一预设值，并计算出对应于每一个光源的光强度变化值。

依据本发明的一些实施例，其中挡光结构包含阵列排列的多个遮光壁，每一个遮光壁连接于光纤的光输出端且围绕于每一个感光元件，以构成封闭的多个容置空间。其中每一个感光元件位于每一个容置空间，且每一个遮光壁用于限制每一个容置空间中的光线逸出或限制外部的环境光线进入。

依据本发明的一些实施例，光源检测设备更包含一调光元件。调光元件耦合于每一个光纤的每一个光输出端及光输入端至少其中之一。调光元件用于调整光线的光强度大小。

藉此，依据一些实施例，光源检测设备利用位于多个感光元件周围的挡光结构，分别连接于每一个光纤的光输出端与每一个感光元件，有效阻挡各个光纤所导引的光线误入射至其他光纤及相邻的感光元件，避免各个光纤内的光线逸出而干扰相邻的感光元件，并阻挡外部环境光线入射至各个感光元件而产生噪声，因此实现微型化尺度的阵列感光元件集成供接收对应多个光纤所传输的各个光源光线。随后，处理模块接收对应于各个感光元件的电信号，以计算出对应于各个光源的光强度变化值，以供即时监测各个光源衰减程度，用来即时校正，或直接替换其中一个失效光源而无需更换整组光源。在一些实施例中，挡光结构包含阵列排列的多个遮光壁，构成封闭的多个容置空间，助于提升遮光效果。在一些实施例中，光源检测设备更包含一调光元件，调光元件用于调整光线的光强度大小，使调整后的光强度落在感光元件的感光工作区间内，改善光线太弱无法感测或太强导致过度曝光等问题。

以下藉由具体实施例配合所附的图示详加说明，当更容易了解本发明之目的、技术内容、特点及其所达成之功效。

附图说明

图1为依据本发明一些实施例的光源检测设备的功能方块图。