[发明专利]一种铁钴钽合金溅射靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铁钴钽合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将具有目标原子比例的铁钴钽合金粉末装入模具并封口，进行振实处理；

(2)将步骤(1)振实后的模具进行脱气处理；

(3)将步骤(2)脱气后的模具在750-900℃下进行热等静压处理，得到铁钴钽合金溅射靶材粗品；

(4)将步骤(3)得到的铁钴钽合金溅射靶材粗品进行机加工，得到铁钴钽合金溅射靶材。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述目标原子比例中Co的原子比例为28-29％，Ta的原子比例为17-20％，其余为Fe。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述具有目标原子比例的铁钴钽合金粉末采用雾化法制备；

优选地，所述雾化法包括气雾化、离心雾化、真空雾化和超声波雾化中的任意一种或至少两种的组合，优选为气雾化；

优选地，所述气雾化采用的气体包括氦气、氮气或氩气中的任意一种或至少两种的组合，优选为氩气。

4.根据权利要求1至3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述模具为不锈钢包套；

优选地，在步骤(1)所述装入模具前还包括清洗步骤；

优选地，所述清洗包括将模具内壁清洗干净，以保证模具内无污染。

5.根据权利要求1至4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述振实处理的振动时间为3-15min；

优选地，步骤(1)所述振实处理的振动幅度为3-10mm；

优选地，步骤(1)所述振实处理的振动频率为50-300次/分钟。

6.根据权利要求1至5任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述脱气处理的温度为300-600℃；

优选地，步骤(2)所述脱气处理的时间为4-8h；

优选地，步骤(2)所述脱气处理的真空度在5.0E-3Pa以下；

优选地，步骤(2)所述脱气处理在加热炉中进行。

7.根据权利要求1至6任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述热等静压处理在热等静压炉中进行；

优选地，在步骤(3)所述热等静压处理前进行冷态增压烧结；

优选地，所述冷态增压烧结的温度为400-600℃；

优选地，所述冷态增压烧结的时间为1-2h；

优选地，步骤(3)所述热等静压处理的压力为90-170MPa；

优选地，步骤(3)所述热等静压处理的保温保压时间为3-6h。

8.根据权利要求1至7任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

(1)采用气雾化方法制备目标原子比例的铁钴钽合金粉末，然后装入预先清洗过的不锈钢包套并封口，进行振实处理；

其中，所述目标原子比例为28％≤Co的原子比例≤29％，17％≤Ta的原子比例≤20％，其余为Fe；

所述振实处理的振动时间为3-15min，振动幅度为3-10mm，振动频率为50-300次/分钟；

(2)将步骤(1)振实后的模具放入加热炉中，加热至300-600℃，并控制真空度在5.0E-3Pa以下，进行4-8h的脱气处理；

(3)将步骤(2)脱气后的模具放入热等静压炉中，先进行冷态增压烧结，在400-600℃下保温1-2h，然后升温至750-900℃，在90-170MPa压力下保温保压3-6h进行热等静压处理，得到铁钴钽合金溅射靶材粗品；

(4)将步骤(3)得到的铁钴钽合金溅射靶材粗品进行机加工，得到铁钴钽合金溅射靶材。

9.一种铁钴钽合金溅射靶材，其特征在于，利用权利要求1-8任一项所述制备方法制备。

10.根据权利要求9所述的铁钴钽合金溅射靶材，其特征在于，所述铁钴钽合金溅射靶材的致密度＞98％；

优选地，所述铁钴钽合金溅射靶材的抗弯强度＞700MPa；

优选地，所述铁钴钽合金溅射靶材的磁通量＞30％；

优选地，所述铁钴钽合金溅射靶材的含氧量＜600ppm。