[发明专利]一种傅里叶变换红外光谱测量装置有效
申请号: | 202010510275.5 | 申请日: | 2020-06-08 |
公开(公告)号: | CN111896491B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 杨宏雷 | 申请(专利权)人: | 北京无线电计量测试研究所 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504;G01J3/45 |
代理公司: | 中国航天科工集团公司专利中心 11024 | 代理人: | 张国虹 |
地址: | 100854*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 傅里叶变换 红外 光谱 测量 装置 | ||
1.一种傅里叶变换红外光谱测量装置,其特征在于,包括宽带增透型分束器(1);所述分束器(1)的左侧设置有第一抛物面反射镜(2),所述第一抛物面反射镜(2)抛物面的上方设置有黑体辐射源(3);
所述分束器(1)的右侧设置有用于产生红外辐射传播时延变化的旋转扫描反射镜组(4),所述旋转扫描反射镜组(4)的右侧设置有竖直布置的第一反射镜(5);
所述分束器(1)的上方设置有水平布置的第二反射镜(6);所述分束器(1)的下方依次设置有气体池(7)和第二抛物面反射镜(8),所述第二抛物面反射镜(8)抛物面的左侧设置有红外探测器(9);
所述黑体辐射源(3)发出的红外辐射经过所述第一抛物面反射镜(2)后射入所述分束器(1),所述分束器(1)的前表面将红外辐射分为反射光与透射光,所述反射光经所述第二反射镜(6)再次反射至所述分束器(1),所述透射光经所述旋转扫描反射镜组(4)、第一反射镜(5)处理后再次反射至所述分束器(1)的前表面,并与所述反射光再次重合,重后的干涉光依次经过所述气体池(7)、第二抛物面反射镜(8),最后被所述红外探测器(9)获取;
所述旋转扫描反射镜组(4)包括旋转的连杆(401),所述连杆(401)上设置有两个互相平行的第三反射镜(402),所述连杆(401)匀速旋转带动两面所述第三反射镜(402)转动,产生红外辐射在测量臂中的传播时延的变化;
所述第三反射镜(402)与所述连杆(401)的夹角为45°;
还包括可见光发生器(10)、可见光波段探测器(12),所述可见光发生器(10)产生的可见光束透射所述第一抛物面反射镜(2)后水平射向所述分束器(1)的前表面,最终,可见光束垂直透射所述第二抛物面反射镜(8)后被所述可见光波段探测器(12)获取;
还包括用于俯仰、偏摆调整的第四反射镜(11),所述可见光发生器(10)产生的可见光束通过第四反射镜(11)的俯仰、偏摆调整后射向所述第一抛物面反射镜(2);
所述可见光发生器(10)采用氦氖激光器;
所述可见光发生器(10)输出的激光干涉信号与红外干涉光谱信号在同一采样时钟下并行采集。
2.根据权利要求1所述的傅里叶变换红外光谱测量装置,其特征在于,所述分束器(1)采用透型楔形分束器。
3.根据权利要求1所述的傅里叶变换红外光谱测量装置,其特征在于,所述红外探测器(9)、可见光波段探测器(12)与数据采集卡连接。
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