[发明专利]一种铝钪合金溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202010511640.4 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111636054A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 蔡小勇;张科;侯庆龙;吴荣祯;曹建亮;李强 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;B22F9/08;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵晓琳 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 溅射 制备 方法 | ||
1.一种铝钪合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将铝源和钪源混合，将所得铝钪合金配料进行真空熔炼，得到铝钪熔融合金液；
利用惰性气流将所述铝钪熔融合金液进行真空气雾化，得到铝钪合金粉；
将所述铝钪合金粉依次进行外包套和热等静压成型，得到铝钪合金溅射靶坯；
将所述铝钪合金溅射靶坯进行绑定机加工，得到铝钪合金溅射靶材。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铝钪合金配料中钪和铝的原子数之比为1：(9～2.5)：7.5；
所述铝源的纯度≥99.999％；
所述钪源的纯度≥99.99％。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述真空气雾化的工艺参数为：雾化室的进口压力为20～25MPa，出口压力为1～10MPa；惰性气流的喷气压力为1.6～1.9MPa，流量为20～30Nm3/min。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铝钪合金粉粒度为30～150μm。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热等静压成型采用先加热后加压保温的热等静压成型方式，所述加热的温度为1000～1350℃，加压保温的压力为50～100MPa，加压保温的时间为1～4h。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述真空熔炼的温度为1100～1400℃，时间为20～30min。
7.根据权利要求1或6所述的制备方法，其特征在于，所述真空熔炼的真空度为3×10-3～6×10-3Pa。
8.根据权利要求1或6所述的制备方法，其特征在于，所述铝钪熔融合金液的过热温度为100～250℃。
9.权利要求1～8任一项所述制备方法制备的铝钪合金溅射靶材。
10.权利要求9所述铝钪合金溅射靶材在制备ScAlN薄膜或作为pMEMS器件中的应用。
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