[发明专利]一种靶材自动化绑定方法

权利要求书

1.一种靶材自动化绑定方法，其特征在于，包括依次进行的检料处理、第一预热处理、金属化处理、第二预热处理和自动化绑定处理，所述检料处理、第一预热处理、金属化处理、第二预热处理和自动化绑定处理采用的设备分别为检料设备、第一预热设备、金属化设备、第二预热设备和自动化绑定设备，其中，

所述检料设备包括视觉识别系统、第一抓取工具和第I输送辊道，所述视觉识别系统和第一抓取工具设置在第I输送辊道的起始端；所述检料处理包括：提供一组靶片和一组背板，所述视觉识别系统识别靶片和背板的初始摆放位置，所述第一抓取工具分别将靶片和背板由所述初始摆放位置放置到第I输送辊道上，所述第I输送辊道将背板输送至人工安装工位，在背板上人工安装掩护工装，并在背板的上表面沿背板宽度方向布设铜线，之后将靶片和背板继续输送到第一预热处理区域；

所述第一预热设备包括第一加热器、第一计时器、第一测温仪和第II输送辊道，所述第一加热器和第一测温仪非接触设置在第II输送辊道的上方；所述第一预热处理包括：当靶片或背板输送至第一预热处理区域，所述第一加热器加热，所述第一测温仪检测温度，且所述第一计时器开始计时，在预定的时间加热至预定的温度，当加热时间和加热温度满足预定值，金属化设备对所述第一预热设备发出放行指令，所述第II输送辊道将靶片和背板输送至金属化处理区域；

所述金属化设备包括第二测温仪、铟液加注装置、超声波涂铟枪和第III输送辊道，沿第III输送辊道的运行方向，所述第二测温仪、铟液加注装置和超声波涂铟枪顺次设置；所述金属化处理包括：所述第二测温仪检测靶片和背板的温度，所述铟液加注装置在温度达到预定要求的靶片的上表面和背板的上表面加注铟液，所述超声波涂铟枪在所述靶片的上表面和背板的上表面涂覆铟液，形成铟液膜，当所述铟液膜的厚度满足预定值，第二预热设备对所述金属化设备发出放行指令，所述第III输送辊道将靶片和背板输送至第二预热处理区域；

所述第二预热设备包括第二加热器、第二计时器、第三测温仪和第IV输送辊道，所述第二加热器和第三测温仪非接触设置在第IV输送辊道的上方；所述第二预热处理包括：当靶片和背板输送至第二预热处理区域，所述第二加热器加热，所述第三测温仪检测温度，且所述第二计时器开始计时，在预定的时间加热至预定的温度，使靶片和背板上的铟保持熔融状态，自动化绑定设备对所述第二预热设备发出放行指令，所述第IV输送辊道将靶片和背板输送至自动化绑定处理区域；

所述自动化绑定设备包括定位器、第四测温仪、刮氧化铟层工装、第四抓取工具、冷却装置和第V输送辊道，沿所述第V输送辊道的运行方向，所述定位器、第四测温仪、刮氧化铟层工装、第四抓取工具和冷却装置顺次设置；所述自动化绑定处理包括：所述定位器将靶片和背板调整至第V输送辊道上的预定位置，所述第四测温仪检测靶片和背板的温度，所述刮氧化铟层工装刮除温度达到预定要求的背板和靶片上的氧化铟层，所述第四抓取工具抓取靶片贴合到背板上，使背板上的铟液膜和靶片上的铟液膜接触，在背板和靶片上安装夹紧装置，将背板和靶片夹紧固定，之后经冷却装置进行冷却，使铟凝固，拆卸夹紧装置和掩护工装，完成靶材自动化绑定；

所述第I输送辊道、第II输送辊道、第III输送辊道、第IV输送辊道和第V输送辊道顺次连接。