[发明专利]一种溶剂浴辅助热处理改善钙钛矿薄膜质量的方法在审
申请号: | 202010514403.3 | 申请日: | 2020-06-08 |
公开(公告)号: | CN111628091A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 李祯;杨磊;李志浩;郅冲阳;刘萃;丁晓刚 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;H01L51/46;H01L51/42;C03C17/34 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 云燕春 |
地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 溶剂 辅助 热处理 改善 钙钛矿 薄膜 质量 方法 | ||
1.一种溶剂浴辅助热处理改善钙钛矿薄膜质量的方法,其特征在于具体步骤如下:
步骤一:采用旋涂法制备钙钛矿薄膜;
步骤二:将步骤一所制备的钙钛矿薄膜浸没于极性溶剂和非极性溶剂的混合溶剂中,其中极性溶剂所占体积比0.1%-10%;将所述混合溶剂和钙钛矿薄膜封闭于密闭空间中,用于避免混合溶剂在加热过程中蒸发或沸腾损失;
步骤三:将步骤二中放入钙钛矿薄膜的混合溶剂加热到80-200℃,保温时间为10-120分钟;保温后待其自然冷却,将钙钛矿薄膜从混合溶剂中取出,再用非极性溶剂清洗;然后用惰性气体吹干,并放在加热台上将所述钙钛矿薄膜加热干燥,最后获得改善的钙钛矿薄膜。
2.根据权利要求1所述溶剂浴辅助热处理改善钙钛矿薄膜质量的方法,其特征在于:所述非极性溶剂为烃类、卤代烃类、芳香烃类或醚类溶剂中的一种。
3.根据权利要求1所述溶剂浴辅助热处理改善钙钛矿薄膜质量的方法,其特征在于:所述极性溶剂为酰胺类、砜类/亚砜类、酯类、酮类、醇类、腈类、吡啶类路易斯碱性溶剂中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述溶剂浴辅助热处理改善钙钛矿薄膜质量的方法,其特征在于:所述混合溶剂液面高于所述钙钛矿薄膜上表面0.5mm-20mm,用于减少薄膜的溶解损失。
5.根据权利要求1所述溶剂浴辅助热处理改善钙钛矿薄膜质量的方法,其特征在于:在所述混合溶剂中加入钝化钙钛矿晶界和表面的钝化剂,所述钝化剂为富勒烯及其衍生物、噻吩,硫脲,1.8-二典辛烷,苯甲酸或咖啡因;所述富勒烯及其衍生物为C60或[6,6]-苯基C61丁酸甲酯。
6.根据权利要求1所述溶剂浴辅助热处理改善钙钛矿薄膜质量的方法,其特征在于:所述步骤一中钙钛矿薄膜的制备方法为,将钙钛矿材料溶解于溶剂中得到前体溶液,将所述前体溶液均匀滴在预先沉积了SnO2电子传输层的透明导电玻璃表面,采用一步法或反溶剂法进行旋涂,然后加热到40-200℃、保温时间为30-120min,获得钙钛矿薄膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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