[发明专利]一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

S1：将镍和铬混合一同置于第一真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬中间合金熔液；

S2：将铝和钇混合一同置于第二真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到铝钇中间合金熔液；

S3：将所述镍铬中间合金熔液、铝钇中间合金熔液和硅混合一同置于第三真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬铝钇硅合金熔液；

S4：将所述镍铬铝钇硅合金熔融液体置于石墨模具中进行离心浇铸后得到镍铬铝钇硅合金靶材铸锭；

S5：将所述镍铬铝钇硅合金靶材铸锭依次进行退火、去氧化、机加工后，得到镍铬铝钇硅合金靶材。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S1中，镍和铬混合的质量比为3：1至5：1。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S1中，熔炼加热的温度为1700～1750℃。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中，铝和钇混合的质量比为10：1至20：1。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中，熔炼加热的温度为800～1200℃。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S3中，镍铬中间合金熔液、铝钇中间合金熔液和硅三者混合的质量比为6：1：0.02至6.9：1：0.06。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S3中，熔炼加热的温度为1550～1700℃。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述离心浇铸过程中保持石墨模具沿其自身轴心旋转40～60圈/分钟，并施加2000～4000次/分钟的振动，使熔融液体在旋转的模具中缓慢冷却成型。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述坩埚的材料为氧化镁、氧化铝或氧化锆中的一种。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述去氧化与机加工之间还包括将镍铬铝钇硅合金进行水浸式超声波扫描的步骤。