[发明专利]机器臂片上天线测试系统及测试方法

权利要求书

1.机器臂片上天线测试系统，其特征在于，该系统包括：光学平台(1)，机器臂(3)，测试探头(5)，射频探针(8)以及待测天线支撑台(10)；

所述光学平台(1)上设置有所述待测天线支撑台(10)，所述待测天线支撑台(10)用于固定支撑待测片上天线，所述光学平台(1)上还设置有所述射频探针(8)，所述射频探针(8)的探头与所述待测片上天线相接触，所述射频探针(8)用于向所述待测片上天线发送第一射频信号，其中，所述射频探针(8)的探头采用共面波导结构压接在所述待测片上天线上；

所述机器臂(3)设置于所述光学平台(1)上，所述机器臂(3)的末端设置有所述测试探头(5)，所述测试探头(5)位于所述待测片上天线的上方，所述测试探头(5)用于接收所述待测片上天线发送的第二射频信号，其中，所述机器臂为多轴机器臂；

所述光学平台(1)下方还设置有气浮装置，以减小所述机器臂(3)运动时所述光学平台(1)的晃动。

2.如权利要求1所述的机器臂片上天线测试系统，其特征在于，所述系统还包括：第一滑动导轨(2)；

所述第一滑动导轨(2)设置于所述机器臂(3)的下方，所述第一滑动导轨(2)用于拖动所述机器臂(3)在所述光学平台(1)上横向和/或纵向移动。

3.如权利要求1所述的机器臂片上天线测试系统，其特征在于，所述系统还包括：第一变频模块(4)；

所述第一变频模块(4)设置于所述机器臂(3)的末端与所述测试探头(5)之间，所述第一变频模块(4)用于变换所述测试探头(5)接收到的所述第二射频信号的频率。

4.如权利要求3所述的机器臂片上天线测试系统，其特征在于，所述系统还包括：变频模块支撑台(6)和第二变频模块(7)；

所述变频模块支撑台(6)设置于所述光学平台(1)的上方，所述变频模块支撑台(6)上设置有所述第二变频模块(7)，所述变频模块支撑台(6)用于拖动所述第二变频模块(7)在所述光学平台(1)上水平和/或垂直移动；

所述第二变频模块(7)上设置有所述射频探针(8)，所述第二变频模块(7)用于变换所述射频探针(8)向所述待测片上天线发送的所述第一射频信号的频率。

5.如权利要求4所述的机器臂片上天线测试系统，其特征在于，所述系统还包括：光学显微镜(12)；

所述光学显微镜(12)设置于所述光学平台(1)的上，所述光学显微镜(12)的探测区域正对于所述待测天线支撑台(10)，所述光学显微镜(12)用于获取所述测试探头(5)、所述待测片上天线以及所述射频探针(8)的位置。

6.如权利要求5所述的机器臂片上天线测试系统，其特征在于，所述系统还包括：第二滑动导轨(11)；

所述第二滑动导轨(11)设置于所述光学显微镜(12)的底部，所述第二滑动导轨(11)用于拖动所述光学显微镜(12)在所述光学平台(1)上横向和/或纵向移动。

7.如权利要求5所述的机器臂片上天线测试系统，其特征在于，所述系统还包括：控制机柜(13)；

所述控制机柜(13)包括终端显控系统(14)、以及机器臂伺服控制机(16)，

所述终端显控系统(14)用于获取所述光学显微镜(12)检测到的所述位置，并根据所述位置向所述机器臂伺服控制机(16)发送位置调整指令，所述终端显控系统(14)还用于根据接收到的测试指令向所述机器臂伺服控制机(16)发送测试移动指令，以及根据所述测试指令向所述矢量网络分析仪(15)发送测试射频调整指令，

所述机器臂伺服控制机(16)连接于所述机器臂(3)的控制端，所述机器臂伺服控制机(16)用于控制所述机器臂(3)运动，

所述矢量网络分析仪(15)连接于所述第一变频模块(4)和所述第二变频模块(7)，所述矢量网络分析仪(15)用于调整所述第一变频模块(4)和所述第二变频模块(7)的输入输出频率。