[发明专利]一种晶圆切割机

权利要求书

1.一种晶圆切割机，其特征在于，包括：

机座、切割刀具、夹具、研磨刀具与载物台；

所述夹具固定安装在所述机座上，用于夹紧固定硅棒；

所述载物台设置于所述夹具的正下方，所述载物台包括环形部与中心部，所述中心部的上端面水平布置，且所述硅棒抵靠在所述中心部的上端面上，且所述硅棒沿竖直方向的投影落在所述中心部外；

所述环形部围绕在所述中心部外侧且所述硅棒沿竖直方向的投影落在所述环形部上，所述环形部沿其外缘形成凸缘，所述凸缘贴合在所述硅棒的外壁，且围绕所述硅棒布置；

所述切割刀具水平布置，且与所述环形部的凸缘上端对齐；所述机座上固定安装有驱动机构，所述驱动机构能够驱动所述环形部沿竖直方向升降；

所述夹具包括导向管与夹具本体，所述导向管的内壁上设有内螺纹，所述导向管内套装有定位管，所述定位管用于插入所述硅棒；所述定位管的外壁上设有外螺纹，所述导向管与定位管螺纹连接；所述夹具本体固定安装在所述定位管上，所述夹具本体用于固定所述硅棒；

所述研磨刀具与所述中心的上端面对齐，用于研磨所述晶圆的外缘；

所述环形部上开设有若干凹槽，所述研磨刀具下侧固定安装有卡块，所述研磨刀具沿着所述硅棒的外周布置，且所述研磨刀具通过所述卡块可拆卸地与所述凹槽配合。

2.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于，所述环形部中心部之间具有间隙。

3.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于，所述研磨刀具呈环形，且围绕所述晶圆的外缘布置。

4.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于，所述中心部呈圆柱形。

5.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于，所述中心部上端面上设有缓冲垫。