[发明专利]用于MES的建模数据验证的建模辅助系统和方法

说明书

本发明公开了一种用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，包括：数据导入模块，用于将需要验证的所有待校验表单的数据整合在一起并形成整合数据；数据校验模块，用于对整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息；数据导出模块，用于将校验过的数据以及对应的错误信息输出。本发明还公开了一种用于MES的建模数据验证的建模辅助方法。本发明能对建模数据进行自动以及全面的校验，能提高校验速度和数据正确性，提高工作效率。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种用于MES的建模数据验证的建模辅助系统。本发明还涉及一种用于MES的建模数据验证的建模辅助方法。

背景技术

在半导体集成电路制造工厂的生产线上，通常是采用制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)进行工艺流程控制。当生产的产品不同时，工艺流程也会不同。不同的产品，需要在MES中建立对应的工艺流程模型，在实际生产过程中，产品的实际工艺流程会通过所建立的模型进行控制。故当生产线上要上新产品时或者需要对已经存在的产品工艺流程进行修改时，则需要进行相应的建模。

在建模过程中，首先需要进行工艺流程的表单导入，表单中包括了工艺流程中的各种数据。目前工厂中新建一条完整的工艺流程需要18张表单，在数据导入前基本记录(Basic Record，BR)工程师需要进行大量的数据校验，由于数据是通过EXCEL进行导入，所以对数据的校验必须特别严格，由于建模系统对部分数据暂时无法验证，以至于必须通过人为检查数据的准确性，这样往往导致花费很多的人力，尤其随着生产的扩大和工程部门相关工艺流程数据处理需求的增加，更加会影响到整个团队的工作效率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，能对建模数据进行自动以及全面的校验，能提高校验速度和数据正确性，提高工作效率。为此，本发明还提供一种用于MES的建模数据验证的建模辅助方法。

为解决上述技术问题，本发明提供的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统包括：

数据导入模块，用于将需要验证的所有待校验表单的数据整合在一起并形成整合数据。

数据校验模块，用于对所述整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息。

数据导出模块，用于将校验过的数据以及对应的所述错误信息输出。

进一步的改进是，还包括：数据模板选择模块，用于选择数据模板。

数据模板验证模块，用于验证所述数据模板，当所述数据模板验证错误时结束数据验证，当所述数据模板验证正确时显示所述整合数据并将所述整合数据输入到所述数据校验模块进行校验。

进一步的改进是，还包括：文件拆分模块，用于在所述数据校验模块校验成功时，对校验过的所述整合数据进行拆分并形成拆分表单，校验成功时没有所述错误信息。

进一步的改进是，校验成功时，所述数据导出模块导出所述拆分表单，所述拆分表单用于导入到建模系统进行建模。

进一步的改进是，当存在所述错误信息时，所述数据导出模块导出所述整合数据和所述错误信息并供工程师进行修改。

进一步的改进是，需要验证的所有待校验表单为一个工艺流程对应的所有表单。

进一步的改进是，所述数据导入模块通过EXCEL导入所述待校验表单的数据。

进一步的改进是，所述拆分表单的数据通过EXCEL导入到建模系统。

进一步的改进是，所述数据校验模块的校验内容包括所有BR作业规范和手动检查数据的流程。

为解决上述技术问题，本发明提供的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法包括如下步骤：