[发明专利]一种柔性CIGS太阳能电池的电极及制作方法

权利要求书

1.一种柔性CIGS太阳能电池的电极，其特征在于，包括合金层，所述合金层的一侧连接有铝层。

2.根据权利要求1所述的一种柔性CIGS太阳能电池的电极，其特征在于，所述合金层为钛铝合金层。

3.根据权利要求1-2所述的一种柔性CIGS太阳能电池的电极，其特征在于，所述合金层为多层结构，且合金层中Ti的含量自靠近铝层的一端向远离铝层的一端递增。

4.根据权利要求3所述的一种柔性CIGS太阳能电池的电极，其特征在于，所述合金层为两层，分别为Ti50Al(at％)层和Ti20Al(at％)层，所述Ti50Al(at％)层位于远离铝层的一侧。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种柔性CIGS太阳能电池的电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1).取镀好AZO膜层的CIGS电池片，使用激光在AZO层上刻划出导线凹槽；

(2).在刻画好导线凹槽的电池顶部覆盖掩膜版，掩膜版与导线凹槽对应位置镂空；

(3).随后送入磁控溅射/蒸镀工序进行物理气相沉积，镀膜靶材选用钛铝合金，物理气相沉积过程中钛铝合金中钛的含量逐步递减，理气相沉积结束后取出电池后去掉掩膜版，得到通过物理气相沉积电极的电池；

(4).将电池上通过物理气相沉积的电极与组件汇流条进行键合。

6.根据权利要求5所述的一种柔性CIGS太阳能电池的电极的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)与(2)之间还设置有清洗步骤，具体如下：将刻划好的电池进行等离子清洗，清洗工艺条件：通入Ar，控制压力约100-500Pa压力，持续时间不少于2分钟。

7.根据权利要求5所述的一种柔性CIGS太阳能电池的电极的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)与(4)之间还设置有退火步骤，具体如下：将通过物理气相沉积镀好电极膜层的CIGS电池送进退火炉进行惰性气氛围为下退火，退火温度为300±100℃。

8.根据权利要求5所述的一种柔性CIGS太阳能电池的电极的制备方法，其特征在于，所述导线凹槽刻画深度为约0.05-0.1μm，宽度为5-10μm。

9.根据权利要求5所述的一种柔性CIGS太阳能电池的电极的制备方法，其特征在于，物理气相沉积过程中镀膜靶材具体使用如下：首先使用Ti50Al(at％)，沉积厚度为0.5μm；再使用Ti20Al(at％)靶材沉积厚度为0.3微米；其次沉积0.5微米纯铝。