[发明专利]一种推拉式线性等离子源及其应用

权利要求书

1.一种推拉式线性等离子源，其特征在于，包括：

至少一对水平并列设置的电极，成对设置的电极均包括第一电极及第二电极，第一电极与第二电极的线性方向平行；

第一电极连接第一射频电源，第二电极连接第二射频电源，第一射频电源与第二射频电源同时连接至一相位同步器，通过相位同步器控制第一射频电源及第二射频电源的相位同时在波峰和波谷之间交替变换而形成推拉式控制；

以及第三电极，第三电极位于第一电极及第二电极的下方，第三电极与第一电极及第二电极平行设置，且第三电极连接低频电源或接地；

第一电极与第二电极连接气源以将气体通入第一电极、第二电极及第三电极之间的空间，并通过第一射频电源与第二射频电源将气体激发以在第一电极、第二电极及第三电极之间的空间中形成等离子体，等离子体作用于连续通过第一电极、第二电极及第三电极之间的基板。

2.根据权利要求1所述的一种推拉式线性等离子源，其特征在于，还包括：第一组位于第一电极的第一外侧并具有第一取向的永磁体；第二组位于第二电极的第二外侧并具有第二取向的永磁体；其中，第一电极靠近第二电极的一侧为第一内侧，第二电极靠近第一电极的内侧为第二内侧，且第一取向与第二取向相反；第一组永磁体和第二组永磁体的第一取向与第二取向之间形成磁场，该磁场作用于第一电极、第二电极及第三电极之间的等离子体。

3.根据权利要求1所述的一种推拉式线性等离子源，其特征在于，还包括：第一组位于第一电极的第一外侧并具有第一取向的永磁体；第二组位于第二电极的第二外侧并具有第一取向的永磁体；以及第三组位于第一电极与第二电极中间并具有第二取向的永磁体，第二取向与第一取向相反，第一组和第三组永磁体形成第一磁场，第二组和第三组永磁体形成第二磁场，第一磁场作用于第一电极与第三电极之间的等离子体，第二磁场作用于第二电极与第三电极之间的等离子体。

4.根据权利要求1所述的一种推拉式线性等离子源，其特征在于，其中，包括两对线性方向平行设置的电极，两对电极的线性方向相同并水平并列设置以对应第三电极。

5.根据权利要求4所述的一种推拉式线性等离子源，其特征在于，还包括：第一组位于第一对电极的第一电极第一外侧并具有第一取向的永磁体；第二组位于第二对电极的第二电极第二外侧并具有第二取向的永磁体；其中，第一取向与第二取向相反；第一组永磁体和第二组永磁体的第一取向与第二取向之间形成磁场，该磁场作用于两对电极及第三电极之间的等离子体。

6.根据权利要求4所述的一种推拉式线性等离子源，其特征在于，还包括：第一组位于第一对电极的第一电极第一外侧并具有第一取向的永磁体；第二组位于第二对电极的第二电极第二外侧并具有第一取向的永磁体；以及第三组位于第一对电极与第二对电极中间并具有第二取向的永磁体；第二取向与第一取向相反，第一组和第三组永磁体形成第一磁场，第二组和第三组永磁体形成第二磁场，第一磁场作用于第一对电极与第三电极之间的等离子体，第二磁场作用于第二对电极与第三电极之间的等离子体。

7.根据权利要求4所述的一种推拉式线性等离子源，其特征在于，还包括，第一组位于第一对电极的第一电极第一外侧并具有第一取向的永磁体；第二组位于第二对电极的第二电极第二外侧并具有第一取向的永磁体；第三组位于第一对电极与第二对电极中间并具有第一取向的永磁体；第四组位于第一对电极的第一电极与第二电极之间并具有第二取向的永磁体；以及第五组位于第二对电极的第一电极与第二电极之间并具有第二取向的永磁体；第二取向与第一取向相反，第一组和第四组永磁体形成第一磁场，第四组和第三组永磁体形成第二磁场，第三组和第五组永磁体形成第三磁场，第五组和第二组永磁体形成第四磁场，第一磁场作用于第一对电极的第一电极与第三电极之间的等离子体，第二磁场作用于第一对电极的第二电极与第三电极之间的等离子体；第三磁场作用于第二对电极的第一电极与第三电极之间的等离子体，第四磁场作用于第二对电极的第二电极与第三电极之间的等离子体。