[发明专利]一种等离子加热净化装置及方法

权利要求书

1.一种等离子加热净化装置，其特征在于，包括密闭腔体以及设置在所述密闭腔体内的等离子加热器。

2.根据权利要求1所述的等离子加热净化装置，其特征在于，所述等离子加热器为等离子加热枪。

3.根据权利要求1所述的等离子加热净化装置，其特征在于，还包括用于驱动所述等离子加热器移动的驱动结构，所述驱动结构与所述等离子加热器连接。

4.根据权利要求1所述的等离子加热净化装置，其特征在于，所述密闭腔体内还设置有用于承载待净化材料的载物台。

5.根据权利要求4所述的等离子加热净化装置，其特征在于，所述载物台为耐高温金属台。

6.一种基于权利要求1-5任一所述等离子加热净化装置的净化方法，其特征在于，包括步骤：

将待净化材料放置在所述密闭腔体内，并通入惰性气体；

采用所述等离子加热器对所述待净化材料进行加热，去除所述待净化材料中的杂质。

7.根据权利要求6所述的净化方法，其特征在于，所述惰性气体为氮气、氩气、氖气和氦气中的一种或多种。

8.根据权利要求6所述的净化方法，其特征在于，所述采用所述等离子加热器对所述待净化材料进行加热的步骤包括：

将待净化材料均匀平铺在所述载物台上；

采用所述等离子加热器对平铺在所述载物台表面的所述待净化材料表面进行扫描式运动加热。

9.根据权利要求8所述的净化方法，其特征在于，所述扫描式运动为匀速往返运动。