[发明专利]一种具有单腔清洗装置的减薄设备

权利要求书

1.一种具有单腔清洗装置的减薄设备，其特征在于，包括：

设备前端模块、磨削模块、和抛光模块；

所述设备前端模块设置在所述减薄设备的前端；所述设备前端模块包括基板存储单元和第一传输单元；基板存储单元设置在减薄设备的前端一侧，第一传输单元设置在基板存储单元和抛光模块之间；

所述磨削模块设置在所述减薄设备的末端；

所述抛光模块设置在所述设备前端模块与所述磨削模块之间，所述抛光模块包括第二传输单元、第三传输单元、化学机械抛光单元和单腔清洗装置；化学机械抛光单元与第二传输单元沿设备长度方向平行布置，单腔清洗装置位于第一传输单元和化学机械抛光单元之间，第三传输单元与第一传输单元、第二传输单元、化学机械抛光单元和单腔清洗装置均相邻，用来在第一传输单元、第二传输单元、化学机械抛光单元和单腔清洗装置之间实现基板的相互传输；

所述第二传输单元包括固定缓存部和能双向移动的移动缓存部，所述移动缓存部能够将所述基板从靠近所述设备前端模块的第一位置运送至靠近所述磨削模块的第二位置并从所述第二位置运送回所述第一位置；

所述第三传输单元包括用于将基板放置至所述移动缓存部的干机械手和用于从所述移动缓存部拿取基板的湿机械手；

所述单腔清洗装置用于对抛光后的基板进行清洗和干燥，包括：

用于保持并旋转基板的承载部；

向所述基板喷射流体的流体供给部；

围绕所述承载部布置的用于阻挡飞溅流体的挡板部；以及

封闭的流体收集腔，其中，所述承载部、所述流体供给部和所述挡板部均设在所述流体收集腔内，所述单腔清洗装置具有四个竖直的侧壁，其中两个相邻的侧壁分别各自配置有一个用于基板进出所述单腔清洗装置的开合窗口，所述开合窗口可以打开或闭合。

2.根据权利要求1所述的减薄设备，其特征在于，所述单腔清洗装置的面对所述第一传输单元的侧面设有第一开合窗口以便于所述第一传输单元向所述单腔清洗装置取放基板，所述单腔清洗装置的面对所述第三传输单元的侧面设有第二开合窗口以便于所述第三传输单元向所述单腔清洗装置取放基板。

3.根据权利要求1所述的减薄设备，其特征在于，所述挡板部包括至少两个同心间隔设置的环形挡板和用于控制所述环形挡板独立升降的挡板升降单元。

4.根据权利要求1所述的减薄设备，其特征在于，所述流体供给部包括至少一个上表面喷淋组件和至少一个下表面喷淋组件；

所述上表面喷淋组件和所述下表面喷淋组件为结构相同的喷淋组件，所述喷淋组件包括喷嘴、机械臂和供流管路，所述供流管路与所述喷嘴接通，所述机械臂与所述喷嘴连接以带动所述喷嘴移动。

5.根据权利要求1所述的减薄设备，其特征在于，所述移动缓存部与所述化学机械抛光单元沿设备长度方向平行布置。

6.根据权利要求1所述的减薄设备，其特征在于，所述干机械手和湿机械手布置在同一机械手基座上并且能够围绕所述机械手基座旋转。

7.根据权利要求6所述的减薄设备，其特征在于，所述干机械手在将基板放置至所述移动缓存部的过程中与所述移动缓存部沿竖直方向具有间隔。

8.根据权利要求1所述的减薄设备，其特征在于，所述第一传输单元包括取放片机械手和第一传输轨道，所述取放片机械手具有基座和能在所述基座上旋转的能伸展或收缩的机械臂，所述基座以能滑动的方式设置在所述第一传输轨道上。

9.根据权利要求1所述的减薄设备，其特征在于，所述设备前端模块还包括基板存储单元，所述基板存储单元设置在所述减薄设备的前端一侧并且包括多个前开式基板传送盒，所述前开式基板传送盒分别包括能容纳基板的前开式容器以及前开式门结构，所述前开式门结构气密连接于减薄设备的外壁上。