[发明专利]掩膜版

说明书

本发明提供一种掩膜版，所述掩膜版包括掩膜条及支撑掩膜，所述掩膜条包括多个掩膜开口区，所述支撑掩膜包括支撑条；所述掩膜条包括支撑部，所述支撑部的强度大于掩膜条除支撑部以外部分的强度，所述支撑部位于相邻的两个掩膜开口区之间，所述支撑部在所述支撑掩膜上的正投影与所述支撑条至少部分重合，所述支撑条抵靠于所述支撑部以对所述掩膜条进行支撑。支撑条通过支撑部对掩膜条的相邻掩膜开口区之间的区域进行支撑，避免掩膜条发生弯曲变形，从而提高蒸镀形成的膜层的位置精度。

技术领域

本发明涉及一种掩膜版。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管)显示技术具有厚度薄、亮度高、功耗低、响应快、清晰度高、柔性好、发光效率高等诸多优点，目前在众多显示设备上得到应用，例如手机、平板电脑、电视机等。

制造OLED的工艺过程包括多种工艺技术，掩膜工艺是其中的主要技术之一。掩膜版的形状、构造、精度等参数，对制作的膜层的影响很大，例如掩膜版的变形会影响OLED膜层的位置精度。

发明内容

为解决上述技术问题中的至少一个，本发明提供一种提高位置精度的掩膜版。

本发明提供一种掩膜版，所述掩膜版包括掩膜条及支撑掩膜，所述掩膜条包括多个掩膜开口区，所述支撑掩膜包括支撑条；所述掩膜条包括支撑部，所述支撑部的强度大于掩膜条除支撑部以外部分的强度，所述支撑部位于相邻的两个掩膜开口区之间，所述支撑部在所述支撑掩膜上的正投影与所述支撑条至少部分重合，所述支撑条抵靠于所述支撑部以对所述掩膜条进行支撑。

进一步的，所述掩膜条包括相对的两个长边，所述支撑部到两个长边的距离相等。

进一步的，所述支撑掩膜包括多个所述支撑条，所述掩膜条包括多个所述支撑部，相邻的两个所述支撑部的距离是相邻的两个所述支撑条的距离的整数倍。

进一步的，所述支撑部焊接于所述支撑条。

进一步的，所述支撑掩膜包括多个所述支撑条，所述掩膜条包括多个所述支撑部，多个所述支撑部中的一部分焊接于对应的支撑条。

进一步的，相邻两个焊接于所述支撑条的支撑部设置于未进行焊接的两个支撑部之间；或未进行焊接的支撑部与焊接于所述支撑条的支撑部交错排列。

进一步的，所述支撑部通过交互焊接工艺或冷压焊接工艺焊接于所述支撑条。

进一步的，所述支撑部包括焊点，所述焊点相对于所述支撑部的几何中心呈中心对称。

进一步的，所述支撑部包括多个焊点，多个所述焊点沿纵向或横向排列；所述纵向为所述支撑条的长度方向，所述横向为多个所述掩膜开口区的排列方向。

进一步的，所述掩膜条包括围绕所述掩膜开口区的边框，所述支撑条抵靠于所述边框以对所述边框进行支撑。

进一步的，所述掩膜版包括掩膜框架和遮挡掩膜，所述支撑掩膜和遮挡掩膜固定于所述掩膜框架，所述支撑掩膜和遮挡掩膜相交设置且形成多个子区域，所述子区域与所述掩膜开口区一一对应，所述掩膜开口区位于对应的子区域内；所述掩膜条为精密金属掩膜条。

进一步的，所述支撑掩膜和遮挡掩膜一体成型。

支撑条通过支撑部对掩膜条的相邻掩膜开口区之间的区域进行支撑，避免该区域发生倾斜或弯曲变形，从而提高掩膜形成的膜层的位置精度。

附图说明

图1是本发明掩膜版的第一种实施方式的正视示意图。

图2是图1所示的掩膜版的正视示意图，其中仅示意出一个掩膜条。

图3是图1所示的掩膜版的掩膜条的正视示意图。