[发明专利]一种反射式样品形貌测量装置及方法

权利要求书

1.一种反射式样品形貌测量装置，其特征在于，所述装置包括：

顺次设置的照明组件(101)、投影标记组件(102)、投影光学组件(103)、探测光学组件(104)、探测标记组件(105)、和数据采集组件(106)；并在所述投影光学组件(103)和所述探测光学组件(104)之间的光路上设置待测样品(107)；

其中，所述投影光学组件(103)和所述探测光学组件(104)中均包括凹球面反射镜、凸球面反射镜和平面反射镜；

所述照明组件(101)对投影标记组件(102)进行照射，投影光学组件(103)将投影标记组件(102)的像成像到待测样品(107)表面，探测光学组件(104)将携带待测样品形貌信息的投影标记组件(102)的像成像到探测标记组件(105)上，通过数据采集组件(106)得到待测样品的形貌信息。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述投影光学组件(103)包括：第一平面反射镜(103-3)、第一凹球面反射镜(103-1)、第一凸球面反射镜(103-2)和第二平面反射镜(103-4)；

其中，第一凹球面反射镜(103-1)和第一凸球面反射镜(103-2)的球心重合，在第一凸球面反射镜(103-2)上，且第一凹球面反射镜(103-1)的焦面设置孔径光阑；

投影标记组件(102)的像依次经过第一平面反射镜(103-3)、第一凹球面反射镜(103-1)、第一凸球面反射镜(103-2)、第一凹球面反射镜(103-1)、和第二平面反射镜(103-4)反射后成像到待测样品(107)上。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探测光学组件(104)包括：第三平面反射镜(104-3)、第二凹球面反射镜(104-1)、第二凸球面反射镜(104-2)和第四平面反射镜(104-4)；

其中，第二凹球面反射镜(104-1)和第二凸球面反射镜(104-2)的球心重合，在第二凸球面反射镜(104-2)上，且第二凹球面反射镜(104-1)的焦面设置孔径光阑；

携带待测样品形貌信息的投影标记组件(102)的像依次经过第三平面反射镜(104-3)、第二凹球面反射镜(104-1)、第二凸球面反射镜(104-2)、第二凹球面反射镜(104-1)、和第四平面反射镜(104-4)反射后成像到探测标记组件(105)上。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述投影标记组件(102)与第一平面反射镜(103-3)之间的距离为110mm，第一平面反射镜(103-3)与第一凹球面反射镜(103-1)之间的距离为273.423mm，第一凹球面反射镜(103-1)和第一凸球面反射镜(103-2)之间光束传输距离为190.965mm，第一凹球面反射镜(103-1)与第二平面反射镜(103-4)之间的距离为283.421mm，第二平面反射镜(103-4)与待测样品(107)表面的距离为100mm。

5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一凹球面反射镜(103-1)的半径为383.534mm，第一凸球面反射镜(103-2)的半径为192.683mm；第一凹球面反射镜(103-1)的半通光孔径为60mm，第一凸球面反射镜(103-2)的半通光孔径为15mm。

6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述待测样品(107)表面与第三平面反射镜(104-3)之间的距离为100mm，第三平面反射镜(104-3)与第二凹球面反射镜(104-1)之间的距离为283.421mm，第二凹球面反射镜(104-1)和第二凸球面反射镜(104-2)之间光束传输距离为190.965mm，第二凹球面反射镜(104-1)与第四平面反射镜(104-4)之间的距离为273.423mm，第四平面反射镜(104-4)与探测标记组件(105)之间的距离为110mm。