[发明专利]一种Nb3

权利要求书

1.一种用于Nb₃Sn超导加速腔的热处理方法，包括下述步骤：

1)对Nb₃Sn超导加速腔进行洁净装配前的清洗处理；

2)对清洗后的Nb₃Sn超导加速腔进行洁净装配；

3)对洁净装配后的Nb₃Sn超导加速腔进行真空检漏；

4)对检漏后的Nb₃Sn超导加速腔进行高真空低温烘烤；其中，所述烘烤的温度为90-150℃，烘烤的时间为12-54小时，所述Nb₃Sn超导加速腔内真空度优于10^-6mbar。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤4)中，所述烘烤的温度为100-120℃；所述烘烤的时间为24-48小时。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述步骤4)中，所述烘烤全程需对Nb₃Sn超导加速腔持续抽真空；

所述抽真空所用的泵组需要全部采用无油泵；所述Nb₃Sn超导加速腔通过抽气管道与所述无油泵组相连。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于：所述步骤1)中，所述清洁处理包括依次对所述Nb₃Sn超导加速腔进行超声波清洗、高压纯净水冲洗。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：所述超声波清洗采用的水为超纯水，不加清洗剂；所述超纯水水温为50-60℃；所述超声波清洗的清洗时间为30-60分钟；所述超声波清洗的超声功率密度为25-35W/gal；所述超声波清洗在不低于万级的洁净环境中进行；

所述高压纯净水冲洗采用的纯净水的压力为80-100psi；所述高压纯净水冲洗在不低于百级的洁净环境中进行。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法，其特征在于：所述步骤1)清洗处理结束后，在进行步骤3)清洁装配前还包括：将清洗后的Nb₃Sn超导加速腔放置于百级洁净间晾干的步骤；所述晾干的时间不低于12小时。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法，其特征在于：所述步骤2)中所述清洁装配在百级洁净间进行。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的方法，其特征在于：所述真空检漏要求漏率需要低于1x10^-10mbar·L/s；所述真空检漏过程中需采用慢速抽真空，真空泵需为无油泵组。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的方法，其特征在于：所述方法在所述步骤3)后，进行步骤4)之前还需进行下述处理：将Nb₃Sn超导加速腔关好角阀阀门，使腔处于真空状态，然后把Nb₃Sn超导加速腔放置于烘烤平台继续抽真空，直到Nb₃Sn超导加速腔内真空度优于10^-6mbar，然后将Nb₃Sn超导加速腔外部用加热带缠绕，并用锡纸将所述加热带以及Nb₃Sn超导加速腔外表面整体包裹。