[发明专利]大口径平面镜的中、低阶面形检测装置、系统及存储介质

权利要求书

1.一种大口径平面镜的中阶面形检测装置，其特征在于，包括激光光源、分光镜、球面反射镜、孔径遮挡板、相机和处理器；

所述激光光源用于产生向所述分光镜入射的激光光束；待测平面镜位于所述分光镜的反射出射光路上，且所述待测平面镜预先划分为多个离散子孔径；所述球面反射镜位于所述待测平面镜的出射光路上；所述激光光源位于所述球面反射镜的等效球心上；所述相机位于所述分光镜的透射出射光路上，且位于所述球面反射镜的等效球心上；

其中，所述激光光束依次入射至所述分光镜反射至所述待测平面镜的离散子孔径，并反射至所述球面反射镜后沿原光路经所述离散子孔径反射至所述分光镜，并由所述分光镜透射出射至所述相机；

当所述球面反射镜边缘位置设置所述孔径遮挡板时，所述相机用于随着所述待测平面镜旋转，依次检测经各个所述离散子孔径反射的激光光束对应的遮挡点扩散函数；

当所述球面反射镜边缘位置未设置所述孔径遮挡板时，所述相机用于随着所述待测平面镜旋转，依次检测经各个所述离散子孔径反射的激光光束对应的点扩散函数；

所述处理器和所述相机相连，用于根据所述遮挡点扩散函数和所述点扩散函数获得波前相位，并根据所述波前相位获得所述待测平面镜的中阶面形。

2.一种大口径平面镜的中低阶面形检测系统，其特征在于，包括激光光源、分光镜、球面反射镜、相位变换板、微透镜阵列、孔径遮挡板、相机以及处理器；

其中，所述激光光源、所述分光镜、所述球面反射镜、所述相位变换板、所述微透镜阵列以及所述相机用于组成大口径平面镜的低阶面形检测装置，检测待测平面镜中各个离散子孔径对应的波前斜率；

所述激光光源、所述分光镜、所述球面反射镜、所述孔径遮挡板和所述相机以及所述处理器用于组成如权利要求1所述的大口径平面镜的中阶面形检测装置，检测所述待测平面镜中各个离散子孔径对应的遮挡点扩散函数和点扩散函数；

所述处理器，用于根据所述波前斜率、所述遮挡点扩散函数和所述点扩散函数，获得所述待测平面镜的中低阶面形；

所述大口径平面镜的低阶面形检测装置，包括所述激光光源、所述分光镜、所述球面反射镜、所述相位变换板、所述微透镜阵列、所述相机以及所述处理器；

所述激光光源用于产生向所述分光镜入射的激光光束；待测平面镜位于所述分光镜的反射出射光路上，且所述待测平面镜预先划分为多个离散子孔径；所述球面反射镜位于所述待测平面镜的出射光路上；所述激光光源位于所述球面反射镜的等效球心上；所述相位变换板位于所述分光镜的透射出射光路上，且位于所述球面反射镜的等效球心上；所述微透镜阵列位于所述相位变换板的出射光路上，且和所述相位变换板的距离等于所述微透镜阵列的焦距；所述相机位于所述微透镜阵列的出射光路上；

其中，所述激光光束依次入射至所述分光镜反射至所述待测平面镜的离散子孔径，并反射至所述球面反射镜后沿原光路经所述离散子孔径反射至所述分光镜，并由所述分光镜透射出射依次经过所述相位变换板、所述微透镜阵列入射至所述相机；所述相机用于随着所述待测平面镜旋转，依次检测经各个所述离散子孔径反射的激光光束的波前斜率；

所述处理器和所述相机相连，用于根据各个所述离散子孔径对应的所述波前斜率获得所述待测平面镜的低阶面形。

3.一种大口径平面镜的中低阶面形检测方法，其特征在于，应用于如权利要求2所述的大口径平面镜的中低阶面形检测系统，包括：

采集获得待测平面镜中各个离散子孔径区域低阶面形对应的波前斜率，以及中阶面形对应的遮挡点扩散函数和点扩散函数；

根据所述遮挡点扩散函数和所述点扩散函数，获得所述待测平面镜的中阶面形对应的波前相位；

根据所述波前斜率和所述波前相位，获得所述待测平面镜的中低阶面形。