[发明专利]一种具有耐微生物腐蚀性的金属/陶瓷双相复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202010529769.8 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111647850B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 潘智健;徐江;周跃;常占华 | 申请（专利权）人： | 新疆一和生物有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C22C30/02;C22C32/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址： | 835219 新疆维吾尔自治*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 微生物 腐蚀性 金属 陶瓷 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种具有耐微生物腐蚀性的金属/陶瓷双相复合涂层的制备方法，其特征在于，所述的制备方法为：利用双阴极等离子溅射沉积技术，在Ti-6Al-4V合金工件表面形成具有微纳米复合结构的金属/陶瓷复合涂层；
其中，所述的双阴极等离子溅射沉积的工艺参数：靶材电压850-950V，工件电压300-350V，极间距8-10mm，工作气压35-40Pa，沉积温度700-850℃，沉积时间3.0-3.5h；
所述的靶材为混合Fe2O3-Al-Cr-Co-Ni-Cu靶，其成分配比按照质量百分比为：22.97%Fe2O3，11.63% Al，22.40% Cr，16.94% Co，16.94% Ni，9.12% Cu。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的靶材电压950V。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的工件电压300V。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的极间距8mm。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的工作气压35Pa。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的沉积温度800℃。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的沉积时间3h。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述的双阴极等离子溅射的工作气压为氩气气压。
9.一种具有耐微生物腐蚀性的金属/陶瓷双相复合涂层，其特征在于，所述的具有抗菌性能的超疏水金属/陶瓷复合涂层采用权利要求1-8任一项制备方法制备得到。
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