[发明专利]一种在碳化硅表面镀银的方法

权利要求书

1.一种在碳化硅表面镀银的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)除油：通过在除油剂中超声处理碳化硅，对其表面进行除油；

(2)粗化：通过在粗化剂中超声处理碳化硅，对其表面进行粗化；

(3)敏化：通过在敏化剂中超声处理碳化硅，对其表面进行敏化；

(4)活化：通过在活化剂中超声处理碳化硅，对其表面进行活化；

(5)还原：通过还原剂对碳化硅表面进行还原处理；

(6)化学镀：配制A液和B液，将碳化硅放入B液中，将A液按1：1的比例与B液混合预镀银；

所述化学镀A液由硝酸银、氢氧化钠、氨水、水组成，其各组分质量分数为：质量分数5.4％的硝酸银、质量分数2.3％的氢氧化钠、一定量的氨水，其余为水，氨水可完全溶解反应中产生的沉淀；化学镀A液配置过程为：首先，将硝酸银溶入水中，在不搅拌的情况下加入氨水将直到析出的氧化银沉淀完全溶解；其次，加入氢氧化钠，溶液再次析出沉淀变黑；最后，在不搅拌的情况下加入氨水直到沉淀完全溶解，溶液变清澈为止，并控制A液的PH值为13.2；

所述化学镀B液由葡萄糖、酒石酸、乙醇、水组成，其各组分质量分数为：质量分数4.2％的葡萄糖、质量分数0.4％的酒石酸、质量分数1％的乙醇，其余为水；化学镀B液配置过程为：葡萄糖和酒石酸溶于水中煮沸冷却后加入乙醇；

(7)电镀：将步骤(6)预镀银后的碳化硅作为阴极，银板作为阳极，在电解液中进行电镀，再次镀上一层银；

所述电镀液由咪唑、磺基水杨酸、硝酸银、乙酸钾、水组成，其各组分质量分数为：质量分数10％的咪唑、质量分数12％的磺基水杨酸、质量分数1.4％的硝酸银、质量分数3.6％的乙酸钾、其余为水；电镀电流为0.2A/dm²，观察表面直至出现均匀银镀层。

2.根据权利要求1所述的一种在碳化硅表面镀银的方法，其特征在于，所述除油剂为质量分数10％的氢氧化钠溶液，超声处理时间为5分钟。

3.根据权利要求1所述的一种在碳化硅表面镀银的方法，其特征在于，所述粗化剂为质量分数10％的硝酸溶液，超声处理时间为2分钟。

4.根据权利要求1所述的一种在碳化硅表面镀银的方法，其特征在于，所述敏化剂由盐酸、二水合氯化硅、水组成，其各组分质量分数为：质量分数2％的盐酸、质量分数2.8％的二水合氯化硅，其余为水；超声处理时间为30分钟。

5.根据权利要求1所述的一种在碳化硅表面镀银的方法，其特征在于，所述活化剂由盐酸、氯化亚锡、水组成，其各组分质量分数为：含有如下组成成分：质量分数0.37％的盐酸、质量分数0.05％氯化亚锡，其余为水；超声处理时间为5分钟。

6.根据权利要求1所述的一种在碳化硅表面镀银的方法，其特征在于，所述还原剂为浓度为25g/L的次磷酸二氢钠溶液，超声处理5分钟。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种在碳化硅表面镀银的方法，其特征在于，每一步骤进行前，都应将上一步骤处理的碳化硅板在去离子水中超声清洗并烘干。