[发明专利]一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺

说明书

本发明公开了一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺，将成卷的柔性PET基材放置于放卷辊轮上，牵引柔性PET基材一端经过低温镀膜室缠绕在收卷辊轮上，利用收卷辊轮提供动力牵引柔性PET基材放卷并在收卷辊轮上进行缠绕收集；PET基材在低温镀膜室内依次经过底层SiO₂镀膜区、ITO镀膜区和表层SiO₂镀膜区；向ITO镀膜区通入氩气和氧气的混合气体，并控制氧气通入量在气体总通入量中的占比为2.3％；镀膜完成后的PET基材从收卷辊轮上取出，并通过清洗烘干装置进行清洗烘干，本发明通过不断试验找到合适的氧气通入量从而改善ITO层的结构，省却了一道PET基材的加热工序，保证了方阻恒定，提高加工效益且降低了能耗，同时提高了ITO膜层的稳定性。

技术领域

本发明涉及ITO镀膜技术领域，具体为一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺。

背景技术

低温磁控溅射技术是一种当下大规模应用于生产的镀膜技术，低温磁控溅射具有成膜速率高，基片温度低，可实现大面积镀膜等优点，因此多数柔性导电膜是用此种技术生产的，但是，运用低温磁控溅射技术生产出来的膜存在着膜质松散、电阻均匀性与稳定性较差的缺点；

当下手写板作为一种便捷的手绘工具深受消费者喜爱，市场前景广阔，本公司在对手写板的黑膜或雾膜PET基材进行上述低温磁控溅射技术镀膜后，通过检测发现膜层电阻均匀性较差，为了解决上述问题，当下传统的处理方式是增加一道加热工序，来使其方阻恒定，这是因为低温镀膜时，温度一般在80℃以下，ITO层的结晶度不够，所以才需要加热，来以此提高ITO层结晶度，让方阻恒定，上述处理方式单纯为了调节膜质而进行加热会增加生产成本，影响加工效益且能耗较高。

本发明的目的在于研究出的新的改良方案，在不增加加热工序的前提下即可获得恒定的方阻，可直接用于手写板上的一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺。

发明内容

本发明的目的在于提供一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺，包括如下步骤：

将成卷的柔性PET基材放置于放卷辊轮上，牵引柔性PET基材一端经过低温镀膜室缠绕在收卷辊轮上，利用收卷辊轮提供动力牵引柔性PET基材放卷并在收卷辊轮上进行缠绕收集；

PET基材在低温镀膜室内依次经过底层SiO₂镀膜区、ITO镀膜区和表层SiO₂镀膜区；

向ITO镀膜区通入氩气和氧气的混合气体，并控制氧气通入量在气体总通入量中的占比为2.3％；

镀膜完成后的柔性柔性PET基材从收卷辊轮上取出，并通过清洗烘干装置进行清洗烘干。

优选的，PET基材表面从上到下依次镀有面层SiO₂膜材、ITO膜材和底层SiO₂膜材。

优选的，收卷辊轮带动柔性PET基材的移动速度为2m/s,底层SiO₂镀膜区功率为8-16kw、ITO镀膜区功率为15-20kw、表层SiO₂镀膜区功率为2.4-4kw。

优选的，所述面层SiO₂膜材的厚度为3-5nm，所述底层SiO₂膜材的厚度为10-20nm。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明省却了一道PET基材的加热工序，通过不断试验找到合适的氧气通入量从而改善ITO层的结构，使得导电膜不需要加热也可得到恒定的方阻，提高加工效益且降低了能耗；