[发明专利]柔性电子器件的曲面转印装置和曲面转印方法有效
申请号: | 202010534781.8 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN111559164B | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 冯雪;陈星也;陈颖 | 申请(专利权)人: | 清华大学;浙江清华柔性电子技术研究院 |
主分类号: | B41F16/00 | 分类号: | B41F16/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 电子器件 曲面 装置 方法 | ||
1.一种柔性电子器件的曲面转印装置,其特征在于,其包括推拉部和按压部,所述推拉部和/或所述按压部能够移动,所述按压部包括支架(3)和弹性膜(4),所述支架(3)具有空腔(31),所述弹性膜(4)套设于所述支架(3)且覆盖所述空腔(31)的一个开口,所述推拉部对准所述开口;
所述推拉部用于安装曲面零件(5),所述弹性膜(4)的覆盖所述开口的部分的朝向所述推拉部的表面用于安装柔性电子器件(6),所述曲面零件(5)能够在所述推拉部的带动下朝向和远离所述空腔(31)移动而进出所述空腔(31)和/或所述按压部能够朝向和远离所述推拉部移动而使所述曲面零件(5)进出所述空腔(31),所述曲面零件(5)进入所述空腔(31)时使所述弹性膜(4)变形而将所述柔性电子器件(6)按压至所述曲面零件(5)。
2.根据权利要求1所述的柔性电子器件的曲面转印装置,其特征在于,所述曲面转印装置包括致动部,所述致动部驱动所述弹性膜(4)变形至包裹所述曲面零件(5),从而所述弹性膜(4)受所述致动部驱动而将所述柔性电子器件(6)的尚未受按压的部分按压至所述曲面零件(5)。
3.根据权利要求2所述的柔性电子器件的曲面转印装置,其特征在于,所述曲面转印装置包括盖体(22),所述弹性膜(4)在变形过程中始终套设于所述支架(3),所述盖体(22)用于在所述推拉部相对于所述支架(3)移动后盖住所述空腔(31)的所述开口且将所述弹性膜(4)压紧至所述支架(3),所述致动部包括气口(24)和密封腔,所述密封腔由所述弹性膜(4)的位于所述空腔(31)内的部分和所述盖体(22)形成,所述气口(24)设于所述推拉部且位于所述密封腔内。
4.根据权利要求3所述的柔性电子器件的曲面转印装置,其特征在于,所述盖体(22)连接于所述推拉部,所述盖体(22)随所述推拉部一同移动。
5.根据权利要求3所述的柔性电子器件的曲面转印装置,其特征在于,所述推拉部包括杆体(21),所述杆体(21)的一端用于安装所述曲面零件(5),所述气口(24)靠近所述杆体(21)的所述一端设置,所述杆体(21)的内部具有吸气气路,所述吸气气路连通于所述气口(24)。
6.根据权利要求1所述的柔性电子器件的曲面转印装置,其特征在于,所述推拉部安装有真空吸盘组件,所述真空吸盘组件包括真空吸盘(23)和吸盘气路,所述真空吸盘(23)用于吸取所述曲面零件(5),所述吸盘气路设于所述推拉部内且连通于所述真空吸盘(23)以使所述真空吸盘(23)具有真空区。
7.一种曲面转印方法,其特征在于,所述曲面转印方法采用根据权利要求1、2或6中任一项所述的曲面转印装置,所述曲面转印方法包括以下步骤:
安装步骤:将所述曲面零件(5)安装于所述推拉部,以及将所述柔性电子器件(6)安装于所述弹性膜(4)的朝向所述推拉部的表面;
预处理步骤:使所述曲面零件(5)的表面具有粘性;
推步骤:通过使所述推拉部和所述支架(3)相互靠近而由所述推拉部将所述曲面零件(5)推入所述空腔(31)以使所述柔性电子器件(6)的至少一部分被按压至所述曲面零件(5);
拉步骤:通过使所述推拉部和所述支架(3)相互远离而将贴合有所述柔性电子器件(6)的所述曲面零件(5)从所述空腔(31)取出。
8.根据权利要求7所述的曲面转印方法,其特征在于,在所述安装步骤中,将所述柔性电子器件(6)放置于所述弹性膜(4)的朝向所述推拉部的表面。
9.根据权利要求7所述的曲面转印方法,其特征在于,在所述安装步骤中,将所述柔性电子器件(6)与临时衬底(7)的结合体安装于所述弹性膜(4),在所述拉步骤后实施:
拆卸步骤:将所述曲面零件(5)和所述柔性电子器件(6)从所述推拉部卸下;
后处理步骤:从所述曲面零件(5)和所述柔性电子器件(6)去除所述临时衬底(7)。
10.一种曲面转印方法,其特征在于,所述曲面转印方法采用根据权利要求3至5中任一项所述的曲面转印装置,所述曲面转印方法包括以下步骤:
安装步骤:将所述曲面零件(5)安装于所述推拉部,以及将所述柔性电子器件(6)安装于所述弹性膜(4)的朝向所述推拉部的表面;
预处理步骤:使所述曲面零件(5)的表面具有粘性;
推步骤:通过使所述推拉部和所述支架(3)相互靠近而由所述推拉部将所述曲面零件(5)推入所述空腔(31),所述弹性膜(4)变形并将所述柔性电子器件(6)的位于所述曲面零件(5)的前进方向的至少正前方的部分按压至所述曲面零件(5);
吸步骤:通过所述气口(24)抽吸所述密封腔内的气体以使所述弹性膜(4)变形而包裹所述曲面零件(5);
拉步骤:通过使所述推拉部和所述支架(3)相互远离而将贴合有所述柔性电子器件(6)的所述曲面零件(5)从所述空腔(31)取出。
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