[发明专利]应用于透明件光学检测的多维运动平台及检测装置

权利要求书

1.一种应用于透明件光学检测的多维运动平台，其特征在于，包括：

工作平台，其台面上具有多个横竖交叉的滑道；

工作平台机构，具有第一驱动单元和滑轨，所述工作平台设置于所述滑轨，所述第一驱动单元与所述工作平台连接，所述第一驱动单元设置为驱动所述工作平台沿着所述滑轨滑动；

直杆机构，具有多个第二驱动单元和多个推杆，多个所述第二驱动单元设置于所述工作平台，并且与多个所述推杆对应连接，多个所述推杆竖直设置于所述滑道且可沿着所述滑道滑动，每个所述第二驱动单元设置为驱动对应所述推杆升降；

多个托架机构，每个所述托架机构对应设置于所述推杆上，每个所述托架机构具有吸附单元和旋转单元，所述吸附单元设置于所述旋转单元，所述吸附单元设置为吸附所述透明件，所述旋转单元设置为驱动所述吸附单元转动；

其中，所述多维运动平台用于所述透明件光学检测时，多个所述旋转单元用于驱动对应所述吸附单元转动以使所述透明件设置于每个所述吸附单元上，每个所述吸附单元用于吸附所述透明件以将所述透明件固定，多个所述第二驱动单元用于驱动对应所述推杆升降以调节所述透明件的倾斜角度，所述第一驱动单元用于驱动所述工作平台沿着所述滑轨滑动以调节所述透明件的光学检测距离。

2.根据权利要求1所述的多维运动平台，其特征在于，多个所述滑道包括多个第一滑道和多个第二滑道，多个所述第一滑道平行设置于所述台面，多个所述第二滑道平行设置于所述台面，并且每个所述第一滑道垂直交叉于多个所述第二滑道以使其与多个所述第二滑道连通。

3.根据权利要求1所述的多维运动平台，其特征在于，所述第一驱动单元包括丝杆、多个滑块和电机，所述丝杆穿设于多个所述滑块，并且与所述电机连接，多个所述滑块设置于所述滑轨，所述工作平台设置于多个所述滑块，其中所述第一驱动单元在驱动所述工作平台沿着所述滑轨滑动时，所述电机驱动所述丝杆转动，带动多个所述滑块沿着所述丝杆和所述滑轨滑动，带动所述工作平台沿着所述滑轨滑动。

4.根据权利要求1所述的多维运动平台，其特征在于，每个所述第二驱动单元包括气缸，所述气缸设置于所述滑道且可沿着所述滑道滑动，所述推杆垂直连接于所述气缸的活塞杆，其中所述第二驱动单元在驱动对应所述推杆升降时，所述气缸通过其活塞杆伸缩而带动所述推杆升降。

5.根据权利要求4所述的多维运动平台，其特征在于，每个所述第二驱动单元更包括直线电机，所述直线电机连接于对应所述气缸，所述直线电机设置为驱动所述气缸带动所述推杆升降。

6.根据权利要求1所述的多维运动平台，其特征在于，所述旋转单元包括光轴、调心球轴承、旋转驱动单元，所述光轴设置于对应所述推杆顶端，所述调心球轴承设置于所述光轴，并且与所述旋转驱动单元连接，所述吸附单元设置于所述调心球轴承，所述旋转驱动单元设置为驱动所述调心球轴承旋转而带动所述吸附单元转动。

7.根据权利要求6所述的多维运动平台，其特征在于，所述旋转驱动单元包括伺服电机和行星减速机，所述伺服电机连接于所述行星减速机，所述行星减速机连接于所述调心球轴承，所述伺服电机通过所述伺服电机驱动所述调心球轴承旋转。

8.根据权利要求6所述的多维运动平台，其特征在于，所述吸附单元包括真空吸盘和真空设备，所述真空吸盘设置于对应所述调心球轴承，所述真空设备连接于所述真空吸盘以控制所述真空吸盘吸附所述透明件。

9.一种应用于透明件光学检测的检测装置，其特征在于，包括：

光学检验机构，具有一相对设置的第一检验件和第二检验件；

上述权利要求1-8所述的多维运动平台，设置于所述第一检验件和所述第二检验件之间，并且所述第一驱动单元可通过驱动所述工作平台沿着所述滑轨滑动，带动所述透明件靠近或者远离所述第一检验件。

10.根据权利要求9所述的光学检验装置，其特征在于，所述第一检验件包括投影屏幕，所述第二检验件包括幻灯仪，所述幻灯仪设置为拍摄所述透明件光学检验后的结果图样，并将其拍摄的所述结果图样成像在所述投影屏幕。