[发明专利]一种长条型钼靶的制备方法

权利要求书

1.一种长条型钼靶的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：选取适量的钼粉，进行胶套装粉，将装过粉的胶套进行冷等静压成型，得到坯体；

步骤二：将步骤一得到的坯体在氢气保护气氛下进行烧结，得到烧结坯；

步骤三：将步骤二得到的烧结坯先在氢气保护下进行加热，然后再进行热挤压，之后退火、校平；

步骤四：将步骤三处理后的产品进行磨削等机加工，得到最终所需尺寸的钼靶材产品；

步骤二中烧结的过程为：先以0.5~2℃/min的升温速率升温至700~1000℃，并在此温度下保温1~2h，再以1~3℃/min的升温速率升温至1100~1400℃，并在此温度下保温1~2h，然后再以1~4℃/min的升温速率升温至最高烧结温度1800~2300℃，并在此温度下进行保温，保温时间为10~20h，保温结束后，自然随炉冷却至室温，开炉取烧结坯；

步骤三中热挤压前的加热温度为1200~1500℃，保温时间为2~3h；

步骤三中热挤压的挤压比为3.5~4.5。

2.根据权利要求1所述的一种长条型钼靶的制备方法，其特征在于：步骤一中钼粉的纯度不低于99.95%，费氏粒度为3.5~4.5um，装入胶套内的钼粉需过160~200目筛。

3.根据权利要求1所述的一种长条型钼靶的制备方法，其特征在于：步骤一中冷等静压成型的压力为100~300MPa，保压时间为3~10min。

4.根据权利要求1所述的一种长条型钼靶的制备方法，其特征在于：步骤三中热挤压完成后钼靶材的退火温度为1000~1400℃，保温时间为0.5~2h。