[发明专利]一种铟锡合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铟锡合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将金属铟和金属锡放入坩埚中，加热熔化，搅拌至熔体成分均匀；

（2）将步骤（1）得到的熔体浇铸成型，得到铟锡合金铸锭；

（3）将步骤（2）得到的铟锡合金铸锭进行轧制，得到铟锡合金坯；所述轧制的条件为：合金的厚度形变量≥20%;

（4）将步骤（3）得到的铟锡合金坯加工至比目标尺寸厚的粗靶坯，且粗靶坯的绑定面加工至光滑；

（5）将背板和步骤（4）得到的粗靶坯分别以低于所述粗靶坯临界熔点的温度进行加热至80~150℃并保温10 ~ 30 min，然后加压以1~8 kg/cm²的夹紧力将背板与粗靶坯贴合夹紧并在1~2 h内逐步冷却至室温，绑定合格后，对粗靶坯进行加工，使其达到目标尺寸；所述绑定合格的标准为：绑定率大于95%，单点不超过1%。

2.如权利要求1所述的铟锡合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述熔化的温度为150~250℃。

3.如权利要求1所述的铟锡合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述坩埚为不锈钢坩埚，所述不锈钢坩埚的开口直径与高度之比为0.5~0.635。

4.如权利要求1所述的铟锡合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述金属铟和金属锡的纯度分别为≥99.95%。

5.如权利要求1所述的铟锡合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，所述浇铸成型的工艺为：将熔体注入内壁涂有脱模助剂的方形模具中，冷却成型，制得铟锡合金铸锭；所述铟锡合金铸锭的厚度为40 ~ 60 mm；所述脱模助剂为氮化硼脱模剂，其通过喷涂的方式涂于80~85℃加热的方形模具上。

6.如权利要求1所述的铟锡合金靶材的制备方法，其特征在于，步骤（4）中，所述粗靶坯比目标尺寸厚1~2 mm，所述粗靶坯的绑定面的粗糙度小于Ra1.6μm。

7.一种铟锡合金靶材，其特征在于，由如权利要求1~6任一项所述的铟锡合金靶材的制备方法制得。