[发明专利]抛光介质制备装置和方法、机械化学抛光设备和方法

权利要求书

1.一种抛光介质制备装置，其特征在于，所述抛光介质制备装置包括用于储存抛光液的储液罐(1)、用于向所述储液罐(1)内释放预定压力气体的气压泵(2)、第一管道(3)和第二管道(4)；所述第一管道(3)的一端与所述气压泵(2)的出气口连接，另一端从所述储液罐(1)的进液口延伸至所述储液罐(1)的底部；所述第二管道(4)从所述储液罐(1)的底部延伸至所述储液罐(1)外；所述第一管道(3)延伸至所述储液罐(1)的底部的一端设置有螺旋增压结构(5)，所述螺旋增压结构(5)用于促进从所述第一管道(3)释放的气体与所述储液罐(1)内的抛光液充分混合，以形成抛光介质；

所述螺旋增压结构(5)包括本体(51)和设置在所述本体(51)的侧壁上的通孔(52)，所述本体(51)内沿着所述本体(51)的轴线方向设置有螺旋通道(53)，所述通孔(52)与所述螺旋通道(53)连通；所述螺旋通道(53)至少满足以下条件之一：

(a)所述螺旋通道(53)的螺距沿所述本体(51)的轴线方向递减；

(b)所述螺旋通道(53)的截面直径沿所述本体(51)的轴线方向递减；

(c)所述螺旋通道(53)的直径沿所述本体(51)的轴线方向递减。

2.根据权利要求1所述的抛光介质制备装置，其特征在于，所述抛光介质制备装置还包括第三管道(6)和储气罐(7)，所述第三管道(6)的一端与所述气压泵(2)的进气口连接，另一端与所述储气罐(7)的出气口连接。

3.根据权利要求1所述的抛光介质制备装置，其特征在于，所述第二管道(4)上设置有用于控制所述第二管道(4)中流体的流量的阀门(8)。

4.一种抛光介质制备装置，其特征在于，所述抛光介质制备装置包括用于储存抛光液的储液罐(1)、用于向所述储液罐(1)内释放预定压力气体的气压泵(2)、第一管道(3)和第二管道(4)；所述第一管道(3)的一端与所述气压泵(2)的出气口连接，另一端从所述储液罐(1)的进液口延伸至所述储液罐(1)的底部；所述第二管道(4)从所述储液罐(1)的底部延伸至所述储液罐(1)外；所述第一管道(3)延伸至所述储液罐(1)的底部的一端设置有螺旋增压结构(5)，所述螺旋增压结构(5)用于促进从所述第一管道(3)释放的气体与所述储液罐(1)内的抛光液充分混合，以形成抛光介质；

所述螺旋增压结构(5)包括本体(51)和设置在所述本体(51)的侧壁上的通孔(52)，所述本体(51)的内壁设置有沿所述本体(51)的轴向分布的螺旋通道(53)，所述本体(51)内沿所述本体(51)的轴向设置有中心柱(54)，所述中心柱(54)的侧壁紧贴于所述螺旋通道(53)， 所述通孔(52)与所述螺旋通道(53)连通；

所述螺旋通道(53)至少满足以下条件之一：

(a)所述螺旋通道(53)的螺距沿所述本体(51)的轴线方向递减；

(b)所述螺旋通道(53)的截面直径沿所述本体(51)的轴线方向递减；

(c)所述螺旋通道(53)的直径沿所述本体(51)的轴线方向递减。

5.根据权利要求4所述的抛光介质制备装置，其特征在于，所述抛光介质制备装置还包括第三管道(6)和储气罐(7)，所述第三管道(6)的一端与所述气压泵(2)的进气口连接，另一端与所述储气罐(7)的出气口连接。

6.根据权利要求4所述的抛光介质制备装置，其特征在于，所述第二管道(4)上设置有用于控制所述第二管道(4)中流体的流量的阀门(8)。

7.一种抛光介质制备方法，其特征在于，利用权利要求2或5所述的抛光介质制备装置进行抛光介质的制备，所述抛光介质制备方法包括：在所述储气罐(7)中储存氢气、氦气、氮气、氧气、氟气、氖气、氯气、氩气、臭氧、氨气、二氧化碳、二氧化氮中的至少一种气体；在所述储液罐(1)内储存抛光液；利用所述气压泵(2)向所述储液罐(1)内释放预定压力的气体，并通过所述螺旋增压结构(5)促进气体与抛光液充分混合，以获取抛光介质。