[发明专利]蒸镀掩模用基材及其制造方法、蒸镀掩模及显示装置的制造方法

说明书

提供一种能够提高通过蒸镀形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。金属板的长度方向DL上的各位置处的沿着金属板的宽度方向的形状互不相同；各形状具有在金属板的宽度方向DW上反复的波；从波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；波的高度相对于波的长度的百分率是单位陡峭度；长度方向DL上的金属板的单位长度是500mm；单位长度的金属板中的单位陡峭度的最大值是第1陡峭度；第1陡峭度是0.5％以下。

本申请是申请日为2018年3月22日、申请号为201810238626.4、发明名称为《蒸镀掩模用基材及其制造方法、蒸镀掩模及显示装置的制造方法》的分案申请。

技术领域

本发明涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。

背景技术

蒸镀掩模具备第1面、第2面和从第1面贯通到第2面的孔。第1面与基板等的对象物对置，第2面位于与第1面相反侧。孔具备位于第1面的第1开口和位于第2面的第2开口。从第2开口进入到孔中的蒸镀物质在对象物形成追随于第1开口的位置及第1开口的形状的图案(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2015－055007号公报

蒸镀掩模具备的孔具有从第1开口朝向第2开口扩大的截面积，由此，提高从第2开口进入孔中的蒸镀物质的数量，确保到达第1开口的蒸镀物质的数量。另一方面，从第2开口进入孔中的蒸镀物质的至少一部分没有到达第1开口而是附着到划分孔的壁面上。附着在壁面上的蒸镀物质妨碍其他蒸镀物质对孔的穿过，使图案具有的尺寸的精度下降。

近年来，以使附着在壁面上的蒸镀物质的体积下降为目的，研究了使蒸镀掩模的厚度变薄、使壁面的面积本身缩小。并且，作为使蒸镀掩模的厚度变薄的技术，研究了使作为用来制造蒸镀掩模的基材的金属板的厚度本身变薄。

另一方面，在金属板形成孔的蚀刻的工序中，金属板的厚度越薄，被除去的金属的体积越小。因此，对金属板供给蚀刻液的时间及供给的蚀刻液的温度等的加工条件的容许范围变窄，结果，难以在第1开口及第2开口的尺寸中得到足够的精度。特别是，在制造金属板的技术中，使用通过辊将母材延伸的轧制、或将析出到电极上的金属板从电极剥离的电解，在金属板本身上形成有波形状。对于具有这样的形状的金属板，使金属板与蚀刻液接触的时间例如在波形状的山部与波形状的谷部之间较大地不同。从而使伴随着上述容许范围的窄小化的精度的下降更深刻化。如以上这样，使蒸镀掩模的厚度变薄的技术使附着在壁面上的蒸镀物质的量下降，由此能提高蒸镀的反复进行下的图案的尺寸的精度，但通过蒸镀，会新招致难以得到图案的尺寸所需要的精度这样的课题。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够提高通过蒸镀形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。

用来解决上述课题的蒸镀掩模用基材，是用于通过蚀刻而形成多个孔来制造蒸镀掩模的、作为具有带状的金属板的蒸镀掩模用基材，上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的沿着上述宽度方向的形状相互不同，各形状具有在上述宽度方向上反复的波；各波在其两侧分别具有谷，从上述波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；上述波的高度相对于上述波的长度的百分比是单位陡峭度；上述长度方向上的上述金属板的单位长度是500mm；上述单位长度的金属板中的上述单位陡峭度的最大值是第1陡峭度；上述第1陡峭度是0.5％以下。