[发明专利]一种碳化硅抛光液及其应用有效
| 申请号： | 202010541121.2 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111518478B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 胡静泉;刘和欣 | 申请（专利权）人： | 宁波日晟新材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵晓琳 |
| 地址： | 315410 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 抛光 及其 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硅抛光液，其特征在于，由以下方法制得：将甘油、碳化硅、过硫酸钾和氢氧化钾混合均匀，得到碳化硅抛光液，其中碳化硅抛光液中过硫酸钾的摩尔浓度为2mol/L，碳化硅抛光液的pH值为9，碳化硅的质量分数为5％，所述碳化硅的粒径为1.0μm；所述碳化硅抛光液的抛光效率为18μm/h。
2.权利要求1所述碳化硅抛光液的应用，其特征在于，将所述碳化硅抛光液配合抛光垫材料用于含硅以及含硅化合物的抛光。
3.根据权利要求2所述的应用，其特征在于，所述抛光垫材料的邵氏硬度大于80A，压缩比小于10％。
4.根据权利要求2或3所述的应用，其特征在于，所述抛光垫材料的材质为发泡聚氨酯。
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