[发明专利]一种回旋离子束加工装置

权利要求书

1.一种回旋离子束加工装置，其特征在于，它包括工作台、离子源、离子束引出装置、离子束速度选择器、离子束聚焦组件、末端离子束束流检测器、三维移动平台；

所述工作台表面固定有工件，工件始终处于侧向的均匀磁场中；

所述离子源和工件之间依次设有离子束引出装置、离子束速度选择器、离子束聚焦组件，离子源射出的离子经过离子束引出装置、离子束速度选择器、离子束聚焦组件后形成离子束，离子束经过均匀磁场回旋后射向末端离子束束流检测器；

所述离子源、离子束引出装置、离子束速度选择器、离子束聚焦组件、末端离子束束流检测器共同构成离子束发生装置，离子束发生装置或者工作台两者之一安装在三维移动平台上，通过三维移动平台驱动离子束发生装置或者工作台移动，使得离子束回旋圆周与工件接触。

2.根据权利要求1所述一种回旋离子束加工装置，其特征在于，所述工作台、工件、均匀磁场、三维移动平台外部设有磁场屏蔽罩，工作台安装在三维移动平台上，磁场屏蔽罩上设有离子束入射口和离子束出射口，离子束由离子束入射口进入磁场屏蔽罩内，由离子束出射口射出磁场屏蔽罩。

3.根据权利要求1所述一种回旋离子束加工装置，其特征在于，所述离子束发生装置外部设有磁场屏蔽罩中，磁场屏蔽罩和离子束发生装置安装在三维移动平台上，磁场屏蔽罩上设有离子束出射口和离子束入射口，离子束由离子束出射口射出磁场屏蔽罩，由离子束入射口进入磁场屏蔽罩内。

4.根据权利要求1所述一种回旋离子束加工装置，其特征在于，所述离子束聚焦组件与工件之间设有初端离子束束流检测器。