[发明专利]一种细胞传感器阵列和细胞检测芯片

权利要求书

1.一种细胞传感器阵列，其特征在于，包括：

基底；

多个细胞传感器，呈阵列分布在所述基底上；

多条扫描线，设置在所述基底上，多条所述扫描线沿第一方向延伸，每条所述扫描线连接一行所述细胞传感器；

多条读取线，设置在所述基底上，多条所述读取线沿第二方向延伸，每条所述读取线连接一列所述细胞传感器；

每个所述细胞传感器包括检测单元和薄膜晶体管；其中，

所述检测单元连接所述薄膜晶体管的源极；所述扫描线连接所述薄膜晶体管的漏极；所述读取线连接所述薄膜晶体管的源极。

2.根据权利要求1所述的细胞传感器阵列，其特征在于，还包括：多条交变电压线；所述检测单元包括第一电极和第二电极；其中，

多条所述交变电压线连接各个检测单元中的所述第二电极，向所述第二电极施加交变电压；

所述第一电极连接所述薄膜晶体管的源极。

3.根据权利要求2所述的细胞传感器阵列，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极为梳状结构；其中，

所述第一电极具有多个第一导电叉指，所述第二电极具有多个第二导电叉指，多个所述第一导电叉指和多个所述第二导电叉指交替设置。

4.根据权利要求2所述的细胞传感器阵列，其特征在于，每个所述检测单元中，所述第一电极与所述第二电极之间具有第一绝缘结构。

5.根据权利要求1所述的细胞传感器阵列，其特征在于，任意相邻的所述细胞传感器之间，具有第二绝缘结构。

6.一种细胞检测芯片，其特征在于，包括权利要求1-5任一所述的细胞传感器阵列。

7.根据权利要求6所述的细胞检测芯片，其特征在于，还包括：

扫描线驱动单元，其连接多条所述扫描线，用于向所述扫描线输入扫描信号；

时序控制单元，其连接所述扫描线驱动单元，用于向所述扫描线驱动单元输入时序信号；

存储单元，其连接多条所述读取线，用于存储各条所述读取线读取的所述细胞传感器的检测信号。

8.根据权利要求7所述的细胞检测芯片，其特征在于，多条所述扫描线通过覆晶薄膜连接所述扫描线驱动单元；多条所述读取线通过覆晶薄膜连接所述存储单元。

9.根据权利要求7所述的细胞检测芯片，其特征在于，还包括：计算单元，其连接所述存储单元，用于根据所述存储单元中的所述检测信号，计算所述细胞传感器所检测的细胞的阻抗值。